納米氧化物薄膜的APCVD 法制備、微結構與穩定性

韓高榮 高 倩

(浙江大學硅材料國家重點實驗室材料科學與工程系 杭州 310027)

　　摘要：根據中國建筑節能的需要, 針對高效節能鍍膜玻璃對膜層材料的不同要求，采用常壓化學氣相沉積法(APCVD)在浮法玻璃基板上沉積制備了摻氟氧化錫薄膜、氧化鈦薄膜等各類節能功能鍍層。研究了反應溫度和反應氣體流量等工藝對功能薄膜的微結構和玻璃節能性能的影響。利用X 射線衍射(XRD)儀、高分辨透射電鏡(HRTEM)、掃描電子顯微鏡(SEM)、四探針電阻儀、霍爾測試儀和分光光度計等對各類薄膜的微結構、形貌、以及光電性能進行了分析，系統研究了熱處理溫度和時間對納米氧化物薄膜的微結構和功能穩定性的影響規律，得到了一系列有重要科學意義和實際應用價值的結果。

　　根據浮法平板玻璃的生產技術和工藝特點，采用熱分解化學氣相沉積方法和金屬有機化合物化學氣相沉積方法，通過多層復合，解決了功能復合薄膜的設計、制備、性能優化等理論和實踐問題，獲得了具有自主知識產權的浮法在線玻璃鍍膜技術，可實現低成本、大面積、大規模的工業化生產，成功地在浮法玻璃基板上制備出低輻射鍍膜玻璃等新型節能鍍膜玻璃，其輻射率、均勻性及可見光透射比和可見光反射比等指標均達到國外生產的國際知名品牌的同類產品性能，取得了重大的經濟效益和社會效益，推動了中國玻璃行業的技術進步。