真空鍍膜
-
鋼基CVD 金剛石薄膜的制備、微結(jié)構(gòu)及其機(jī)械性能的研究
通過(guò)本文的研究,在鋼基上CVD 金剛石薄膜的機(jī)械和耐腐蝕性能方面取得了明顯的突破,將有利于推動(dòng)這種具有優(yōu)良性能的耐磨涂層體系的工業(yè)化應(yīng)用。
-
高遷移率Al-In-Zn-O 氧化物薄膜晶體管的研究
為了降低工業(yè)化成本,溶液法制備TAOS-TFT 受到了研究人員的青睞。然而,溶液法制備的氧化物半導(dǎo)體薄膜由于缺陷的存在,從而使得器件的遷移率較低、關(guān)態(tài)電流較大。
-
基于反鐵磁材料的室溫垂直交換耦合作用和隧道各向異性磁電阻效應(yīng)
研究了垂直磁化的Co/Pt 和面內(nèi)磁化的反鐵磁IrMn 之間的交換耦合作用,以及隧道結(jié)[Pt/Co]/IrMn/AlOx/Pt 的隧道各向異性磁電阻效應(yīng)(TAMR)。
-
化學(xué)氣相沉積金剛石薄膜的紫外脈沖準(zhǔn)分子激光拋光
目前的熱化學(xué)拋光法、化學(xué)機(jī)械拋光法等接觸式拋光方法存在易使金剛石膜受損并可能引入其它缺陷和雜質(zhì)等缺點(diǎn),限制了其應(yīng)用范圍。
-
摻鋁氧化鋅薄膜的低溫發(fā)光特性
使用水熱法在石英襯底上制備了摻鋁氧化鋅薄膜,采用X 射線衍射儀, 掃描電子顯微鏡和低溫光致發(fā)光譜技術(shù)對(duì)薄膜的微結(jié)構(gòu)和發(fā)光性能進(jìn)行了表征。
-
基于過(guò)濾陰極真空電弧鍍(FCVA)制備類金剛石薄膜(DLC)及其場(chǎng)發(fā)射性能分析
本課題通過(guò)FCVA 方法制備DLC 薄膜,利用拉曼光譜、AFM 等方法,分析其內(nèi)部結(jié)構(gòu),表征其微觀結(jié)構(gòu)形貌,并測(cè)試場(chǎng)發(fā)射性能。
-
影響磁控濺射制備TiO2 薄膜性能的因素研究
從研究制備條件對(duì)Ti02薄膜的透射率及光學(xué)常數(shù)的影響出發(fā),利用分光光度計(jì)測(cè)量薄膜的透射率,橢圓偏振光譜儀作為確定薄膜光學(xué)參數(shù)的測(cè)試儀器,研究了不同制備條件對(duì)Ti02薄膜光學(xué)特性的影響。
-
Ar 離子轟擊CeO2-x(111)薄膜的共振光電發(fā)射研究
利用X-射線光電發(fā)射譜和同步輻射共振光電發(fā)射譜研究了外延生長(zhǎng)的CeO2-x(111)薄膜在Ar 離子轟擊作用下電子態(tài)結(jié)構(gòu)的變化。
-
含氫類金剛石薄膜的制備及其光學(xué)常數(shù)研究
利用非平衡磁控濺射技術(shù)制備類金剛石薄膜時(shí),在放電氣體中引入含-CH3 原子團(tuán)的甲烷氣體,即采用反應(yīng)磁控濺射技術(shù)得到含氫DLC 薄膜。
-
離子源對(duì)中頻反應(yīng)濺射沉積AlN 薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響
本文采用離子源輔助中頻反應(yīng)磁控濺射技術(shù)沉積AlN 薄膜,通過(guò)中頻反應(yīng)磁控濺射解決了因“靶中毒”引起的“打火”和沉積速率大幅度下降的問(wèn)題;同時(shí)利用離子源輔助沉積,進(jìn)一步提高離化率,從而提高所沉積薄膜的質(zhì)量。
-
高功率脈沖磁控濺射試驗(yàn)平臺(tái)設(shè)計(jì)及放電特性研究
高功率脈沖磁控濺射(HPPMS)因其高離化率而得到廣泛關(guān)注,是目前的熱點(diǎn)研究方向,為此我們搭建了試驗(yàn)平臺(tái)并對(duì)HPPMS 的放電特性進(jìn)行了研究。
-
摻氮類金剛石薄膜的微觀結(jié)構(gòu)和光學(xué)特性研究
采用射頻等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)制備摻氮類金剛石薄膜(DLC:N),通過(guò)原子力顯微鏡,拉曼光譜和橢圓偏振光譜等對(duì)試驗(yàn)樣品進(jìn)行研究。
-
離軸濺射法生長(zhǎng)的BiFeO3 外延薄膜及其交換偏置效應(yīng)
多鐵性BiFeO3 薄膜吸引了人們廣泛的關(guān)注,并且有望應(yīng)用于磁電器件、自旋電子器件和微波器件等領(lǐng)域
-
一種基于溶膠凝膠法的低溫制備氧化銦鎵鋅半導(dǎo)體薄膜的方法
非晶氧化物半導(dǎo)體因具有遷移率高、可見(jiàn)光透明性好、表面平整和可以室溫制備等優(yōu)良性能,作為非晶硅的替代材料受到廣泛的關(guān)注。
-
高品質(zhì)金剛石厚膜的微波等離子體CVD沉積技術(shù)
金剛石膜擁有許多優(yōu)異的性能。在制備金剛石厚膜的各種方法之中,高功率微波等離子體化學(xué)氣相沉積(MPCVD)法因其產(chǎn)生的等離子體密度高,同時(shí)金剛石膜沉積過(guò)程的可控性和潔凈性好,因而一直是制備高品質(zhì)金剛石厚膜的首
-
紅外增透保護(hù)薄膜的研究及應(yīng)用
揭示了紅外增透保護(hù)膜的氣動(dòng)熱/力失效機(jī)制,提出抗氣動(dòng)熱/ 力失效多光譜紅外增透保護(hù)膜的概念和利用反濺輔助實(shí)時(shí)強(qiáng)化紅外增透保護(hù)膜的方法
真空資訊
推薦閱讀
熱門專題
閱讀排行
- 1等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)基礎(chǔ)
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)是借助微波或射頻等使含有薄膜
- 2RF-CCP(電容耦合) 和RF-ICP(感應(yīng)耦合)離子源的結(jié)
電容耦合方式是由接地的放電室(由復(fù)合系數(shù)很小的材料如石英做成)
- 3氧化鋅(ZnO)薄膜的性能分析
從ZnO薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、光學(xué)性能、電學(xué)性能、光電特性、氣敏特性
- 4真空鍍鋁工藝
真空鍍鋁是在真空狀態(tài)下,將鋁金屬加熱熔融至蒸發(fā),鋁原子凝結(jié)在
- 5電子回旋共振(ECR)離子源的工作原理
ECR離子源微波能量通過(guò)微波輸入窗(由陶瓷或石英制成) 經(jīng)波導(dǎo)或天
- 6化學(xué)氣相沉積(CVD)的概念與優(yōu)點(diǎn)
化學(xué)氣相淀積CVD指把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑
- 7六種石墨烯的制備方法介紹
本文介紹了6種石墨烯材料的制備方法:機(jī)械剝離法、化學(xué)氧化法、
- 8ITO 薄膜方塊電阻測(cè)試方法的探討
針對(duì)ITO 薄膜方塊電阻測(cè)試方法,文章探討了常規(guī)的四探針?lè)ㄅc雙電
- 9反應(yīng)磁控濺射的工作原理和遲滯現(xiàn)象的解決方法
反應(yīng)磁控濺射技術(shù)是沉積化合物薄膜的主要方式之一。沉積多元成分
- 10薄膜厚度對(duì)TGZO透明導(dǎo)電薄膜光電性能的影響
利用直流磁控濺射法, 在室溫水冷玻璃襯底上成功制備出了可見(jiàn)光透