1.ASM181T氦質譜檢漏儀的工作氣路（圖1） 。

2.ASM181T氦質譜檢漏儀工作準備過程（ 自動內部校準）

        （1） 預抽。合上檢漏儀電源開關，粗抽泵啟動，循環指示按鈕的綠色指示燈閃亮。

        （2） 當初壓力達到設定值（ 大約5s 后） ，P 指示燈亮，分子泵啟動，分子泵轉速達到正常轉速大約需要2～3min，當分子泵轉速達到正常轉速時，分子泵轉速指示OK 燈亮。同時，燈 絲啟動，燈絲開關指示燈閃亮大約8s 后， 指示燈亮， 燈絲點亮。

        （3） 檢漏儀自動標定。AUTOCAL 開關紅色指示燈閃亮，如果沒有故障，幾秒鐘后綠色指示燈亮，內部漏孔通大氣。表示檢漏儀自檢完成，可以工作了。

3.ASM181T氦質譜檢漏儀檢漏過程

        （1） 粗抽。按下遙控器上的循環啟動按鈕，粗檢閥4 打開，遙控器右側壓力顯示光柱下降。

        （2） 大漏檢測方式。如果按下粗檢按鈕，當真空達到6×102MPa時，分子泵排氣口閥6 打開，遙控器中間光柱顯示當前漏率。

        （3） 細檢方式。如果不按下粗檢按鈕，當真空達到2×10-4MPa 時，粗檢閥4 關閉，細檢閥5 打開，遙控器左側光柱顯示當前漏率。

4.ASM181T氦質譜檢漏儀的質譜室工作原理

         質譜室工作原理（圖2） 。

         質譜室是用來檢測氦的分壓強。當質譜室內的總壓強（真空度） ＜10-6MPa 時，電離室中由鎢絲制成的燈絲啟動，加熱后產生高速電子轟擊離子源中的氣體分子，使分子電離。大部分的氣體分子都能變成離子， 離子在電場中被（加速電壓） 加速，從而進入與其垂直的偏轉磁場，不同質量數的離子其偏轉半徑不同。加速電壓使得氦離子可以打到放大器的入口（電子倍增器） ，從而檢測出氦離子流的強度，氦離子流與容器內的氦分壓成正比， 因此對氦離子的測量可以確定被檢件的漏率。