常壓累積法檢漏所采用的檢測儀器一般為質譜儀器(包括氦質譜檢漏儀) 。由于質譜儀器的離子源大多是熱陰極電子碰撞式電離離子源, 其工作壓力在10- 2 Pa 以下。為保證離子源的正常工作壓力, 必須通過一定的取樣系統, 將被檢系統中氣體樣品的一部分注入質譜儀的離子源(離子源中的壓力保持在其正常工作的壓力范圍) 中進行分析, 然后再根據分析結果和取樣過程確定出被檢件的漏率值。

       采用常壓累積法質譜檢漏技術, 涉及到被檢件和集氣容器的吸附、脫附, 進樣系統的分餾以及集氣容器的滲透等諸多因素, 使測量結果的準確度和可靠度受到限制。通過對常壓累積法質譜檢漏過程和標定方法的分析, 考察影響測量準確度和可靠度的因素,進而探討消除影響測量因素可能的努力方向。

常壓累積法檢漏技術

基本原理

       如圖1所示, 被檢件內充入了一定壓力的示漏氣體, 裝于一特制的集氣容器內, 集氣容器空腔內為常壓大氣。如果被檢件有漏, 示漏氣體通過漏孔進入集氣容器中, 使得集氣容器內的示漏氣體的分壓力增加。經過一定的時間, 集氣容器內示漏氣體的分壓力增加到一定的值。通過質譜儀器測量集氣容器內示漏氣體的分壓力的變化, 便可得出被檢件的總漏率。

圖1　常壓累積法檢漏原理示意圖

      設集氣容器空腔的凈容積為V ; 被檢件的總漏率為Q; 由被檢件漏出的示漏氣體全部進入集氣容器空腔的空間內, 并且在累積時間t 內集氣容器內的示漏氣體分壓力增量p 除由被檢件泄漏無其它來源。被檢件的總漏率可以由下式求得:

Q = pV/t