節(jié)能50%以上

　　結(jié)構(gòu)緊湊、高抽速

　　清潔制成的理想選擇

　　2013年1月23日 德國 阿斯拉(Asslar)- A 100 L緊湊型干泵是專為半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)設(shè)備靈活集成的要求而量身定制開發(fā)的一款產(chǎn)品。這款干多級羅茨泵是加載互鎖真空室(load-lock chambers)、晶片傳送室(transfer chambers )和其他無腐蝕應(yīng)用(noncorrosive applications)的清潔制成環(huán)境中的理想選擇。盡管這款干泵結(jié)構(gòu)緊湊體積小巧，但她依然能夠帶來強(qiáng)大的抽速和高速響應(yīng)的停機(jī)時間。現(xiàn)今，A 100L干泵已經(jīng)廣泛應(yīng)用于全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體工廠，并且非常適用于無塵室工作事。

　　在A 100 L基礎(chǔ)上研發(fā)的新款A(yù) 100 L ES(ES=Energy Saving)系列經(jīng)過測試能夠節(jié)能50%以上，在低壓范圍內(nèi)其抽速表現(xiàn)依舊強(qiáng)大。并且比A 100 L具有更低的極限壓力和噪音。

　　一個典型的案例：300毫米制成的半導(dǎo)體工廠在加載互鎖真空室(loadlock)裝備1300臺泵，一年能夠節(jié)約10GWh以上的能源，相當(dāng)于大約36萬歐元，5.1噸的二氧化碳排放。

　　此外為了節(jié)約能耗，A 100 L ES的極限壓力降低到了7x10-4 mbar(hPa)。這開創(chuàng)了在要求低壓環(huán)境下提高抽氣速度新的潛在應(yīng)用。同時泵的噪音從58 dB (A)下降到了55 dB (A)。A 100 L ES無疑填補(bǔ)了我們在light duty process中產(chǎn)品節(jié)能的要求，就好比我們在medium duty process中A3P系列和harsh duty process中A3H系列一樣都能提供完美的節(jié)能產(chǎn)品。