干式真空泵的定義

         干式真空泵很早就出現了,但沒有明確的定義。就代替油封式機械泵來說,一般通用的說法是: 能在大氣壓到10-2Pa 的壓力范圍內工作;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類和液體、排氣口與大氣相通,能連續向大氣中排氣的泵, 即稱為干式真空泵(也稱為無油真空泵)。

干式真空泵的分類

         現在市場上提供的干式泵種類很多。就其基本原理來分, 只有兩類, 即:

       ① 容積式的無油真空泵, 例如多級羅茨泵、爪型泵、往復式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力一般為0.1～10Pa, 抽速為0.01～ 0.04m 3ös。

       ② 動量傳輸式的無油真空泵,如渦輪式無油泵。排氣側與大氣相接, 在連續流狀態下壓縮比較高。它是一種粗抽泵, 可從大氣壓抽到1022Pa。在結構上采用徑向流和周向流泵的復合式結構,多級串聯抽氣。這種渦輪式泵的極限壓力約為10-2Pa, 抽速為0.02～0.15m 3ös。牽引型干式泵也屬于動量傳輸式的干式泵。

        這些干式泵和油封式機械泵相比, 達到同樣的極限壓力, 其殘余氣體成分則全然不同,經分析結果明, 油封泵的殘余氣體, CnHm 氣體(碳氫化合物氣體)為其主要成分, 而干式泵的殘余氣體為空氣的組成成分。這就證實了干式泵的抽氣不再有油的污染了。

         有些干式泵在結構設計上, 如泵的傳動齒輪和軸承等仍在使用潤滑油, 也有用合成油, 如PFPE 油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔內不存在, 嚴格來說不是全無油的泵, 但經分析, 這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的,并無影響。