機械真空泵的凈化原理及流程

       電子油霧凈化系統是一種對機械真空泵排氣油霧進行凈化處理的高效油霧凈化設備。電子油霧凈化系統的技術關鍵在于利用了常氣壓電暈放電技術對油霧進行處理。其基本方法是根據氣溶膠的分化原理，采用兩步法來凈化油霧，首先利用冷卻裝置減低含有油滴氣體的體積及運動能量，從而增加分子間的吸引力，再利用機械分離系統分離出較大油滴，然后利用高電壓形成高壓靜電場，在大氣壓力下通過高電壓電暈放電作用將氣流中的較小油滴顆粒加以炭化捕集。

        系統的凈化流程如圖31所示，一般來說電子油霧凈化系統的本體壓力損失不會大于200 Pa，因此并不是所有的系統內必須配置抽風機，只有在某些排氣阻力太大的系統上才需要設置。

圖31 油霧凈化系統流程圖

        油霧被排出油封機械泵后，首先經過機械分離系統產生分化，此過程為物理作用過程，油霧中的油滴不發生化學變化。機械分離系統的核心在于迷宮分離系統，有時也輔助以吸附過濾系統。分離系統根據其每階段構成的運動狀態，采用多種形狀、多層分離板進行攔截處理。在減弱油滴的運動能量后將其攔截在分離板的表面。由于油滴的運動為布朗運動，油滴會自動擴散至整個機械分離系統表面，在通過分離系統的不等規則的間隙后，較大的油滴就會從氣流中脫離出來，吸附在分離板表面上產生沉積。

        經過機械分離系統處理過的油霧被轉入高壓靜電場多級發生器中，多級發生器在28～30 kV的電壓作用下產生高壓靜電場（在工作時靜電場產生紫光，由于紫光中含有紫外線，用戶盡量不要長時間注視紫光）。通過脈沖、監控、自動保護電路產生強有力的瞬間吸放及高電壓電暈放電，空氣中的氧氣（O2）經過靜電場時被荷電，從而被碰撞分離后產生臭氧（O3），在電場力的作用下臭氧及油霧朝集塵極運動，當經過靜電場的尖端放電處時，油霧中的油滴就被臭氧的極強氧化作用所裂解而產生炭化，同時在整個靜電場中炭化的粉末也帶有電荷，在電場力的作用下使炭化粉末朝下一級的靜電場的集塵極運動，進行進一步的催化、氧化并徹底分解，從而被吸附、收集，在此過程中，油霧中的油滴被裂解炭化，油滴的化學性質發生了根本變化。

        其次，空氣中的氧氣被高壓電暈放電氧化而產生的臭氧本身具有殺菌、消毒的作用，因此在一定程度上經過油霧凈化系統處理的氣體會被殺菌消毒，在一定程度上這種消毒作用會給用戶帶來工作環境上的凈化，用戶使用時最終會得到干凈清潔的空氣。

       對于液滴氣溶膠，當液滴上的電荷數增加而使得電荷相互排斥的力大于液滴的表面張力時，液滴在此作用下則會破裂，形成更小的液滴。因此一般來說，在油霧凈化系統電場內的油滴直徑要小于0.1μm。對于小于0.1μm 的粒子，由于單極性離子擴散而產生的油滴及炭化粉末擴散帶電為荷電的主要形式。因此如何使帶電油滴及炭化粉末與系統產生的臭氧發生充分混合后產生充分碳化就成為了關鍵因素。提高系統的后級凈化效率的關鍵也在于此，因此在設計上應保證能產生足夠濃度的臭氧并保證帶電油滴及炭化粉末與臭氧的混合比。

機械真空泵的電子油霧凈化系統的應用特點

        (1)由于電子油霧凈化系統的原理為常氣壓電暈放電技術，所以當設計結構定型后，凈化系統在一定時間段內只能對一定量的油霧進行處理，也就是說在一定時間段內，凈化系統并不無限制地進行凈化處理，因此在實際使用時為達到良好的效果，系統應當配合以重力油氣分離裝置，如旋風分離器等，盡量不要單獨使用電子油霧凈化系統來處理油霧（參見圖31）。這重力油氣分離裝置起油氣分離預處理的作用，電子油霧凈化系統僅僅當作油霧捕集器使用，在實際應用過程中二者配合使用后對油霧的去除效率可以達到令人滿意的水平。

        (2)同大多數機電一體化設備一樣，電子油凈化裝置同樣需要進行周期性的清洗維護，否則油霧凈化的效果會大大降低。一般來說凈化裝置應當每二個月清洗一次，主要為檢查器件及清洗油污；另一方面，如果用戶使用油氣分離裝置預先去除大部分的油滴，則進入電子油霧凈化系統的油滴可相應減少，凈化系統的處理負荷也大大減輕，顯而易見在這種情況下，維護的時間間隔可以大大延長。

        (3)電子油霧凈化裝置也有它的適用范圍與適用場合。在高壓靜電場內存在電暈放電過程，在某些情況（例如絕緣失效）下極有可能會轉化產生火花放電，此時如果被排出氣體為易燃易爆氣體，則火花放電極有可能會導致易燃易爆氣體產生起燃或爆炸，因此此系統不適合在存在易燃易爆氣體的場合應用，用戶在選型時應當特別注意到這一點。