對機(jī)械真空泵的性能常用下列參量或其中的幾個主要參量來說明。

    1．抽氣速率(體積流率)(s；單位：m³·s^-1；L·s^-1)

    當(dāng)泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作時，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩上指定位置測得的平衡壓力之比。簡稱泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時間內(nèi)從被抽容器中抽走的氣體體積。

    2．極限壓力（極限真空）（單位：Pa）

    泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓力。即真空泵的入口端經(jīng)過充分抽氣后所能達(dá)到的最低的穩(wěn)定的壓力。

    3．起動壓力
    泵無損壞起動并有抽氣作用的壓力

    4．前級壓力
    排氣壓力低于一個大氣壓力的真空泵的出口壓力。

    5．最大前級壓力
    超過了能使泵損壞的前級壓力。

    6．最大工作壓力
    對應(yīng)最大抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞·

    7．抽氣量（Q單位：Pa·m³·S^-1；Pa·L·S^-1）
    流經(jīng)泵入口的氣體流量。

    8．壓縮比
    泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。

    其中泵的抽氣速率和極限壓力兩個參量是在實(shí)際應(yīng)用中選配真空泵的最重要的參量。

機(jī)械真空泵的分類及主要性能參量

機(jī)械真空泵按其工作原理及結(jié)構(gòu)特點(diǎn)的主要分類

對描述機(jī)械真空泵性能的常用參量

機(jī)械真空泵的規(guī)格及型號表示法