立式和臥式渦輪分子泵結構特點
2020-05-03 真空技術網 真空技術網整理
1、臥式渦輪分子泵的結構特點
臥式渦輪分子泵特點是其轉子主軸水平布置。這種結構的分子泵是雙軸流的，吸氣口在兩組抽氣單元的中央，氣體吸入后，分別被左右兩側的葉列組合抽走。軸承分別裝在各抽氣單元的排氣側，見圖 22 。
圖22：臥式渦輪分子泵結構示意圖
這種型式泵的特點是抽氣時轉子受力均勻，軸承定位、受力狀態好，使用壽命長，且軸承更換過程中，轉子位置不動，維修方便。
2、立式渦輪分子泵的結構特點
立式渦輪分子泵結構如圖 23 所示。
圖23：立式渦輪分子泵結構示意圖
其轉子軸垂直安裝，只有一組抽氣組合葉列。轉子葉輪高速旋轉時，被抽氣體沿著轉子組和定子組自高真空端向低真空端壓縮，被驅向前級，由前級泵抽走。泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動機等組成。現代渦輪分子泵轉子和定子之間的間隙較大，通常在 lmm 左右，因此泵工作時很安全。立式泵的裝配工藝要比臥式泵簡單，所以立式泵發展很快。
軸承潤滑方式有油脂潤滑、油繩潤滑和離心供油潤滑等方式。分子泵軸承潤滑油的性能必須具備以下三個條件，才能滿足泵的工作要求：
a、高速下具備良好的潤滑性能；
b、飽和蒸氣壓低于前級泵工作液的飽和蒸氣壓；
c、粘度適當，使之兼有軸承冷卻液的作用。
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