1、目的

　　通過對分子泵的了解，使操作使用人員，更好的維護設備，確保設備正常。

2、范圍

　　適合于ITO廠所有分子泵。

3、職責

　　設備維護人員按本作業指導書規定的內容作業，保證分子泵的正確使用和維護。

4、內容

4.1操作要求

　　4.1.1分子泵的氣路接口的快接法蘭的螺桿應朝上，以防松弛造成漏氣;

　　4.1.2不能在大氣狀態下開分子泵，必須在達到10Pa時才能打開其相應的高閥，開啟分子泵;

　　4.1.3當M2(箱體2)或M7的真空度始終抽不到位時，應檢查旋片泵的電磁閥工作是否正常;

　　4.1.4在開分子泵前必須打開冷卻水閥;在分子泵的葉輪停止運轉后，必須關閉冷卻水閥;

　　4.1.5每次停機后，務必清潔各分子泵的進氣口處，使其保持干凈，以避免不必要的損壞;

　　4.1.6當出現報警信息“EF”時，應檢查冷卻水路是否通暢，可用氣槍檢查。確保水路順暢后，方可再次打開分子泵。而當出現其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵，待后處理;

　　4.1.7在分子泵出現問題而不能使用時，應暫停生產，手動充大氣后，更換備用的分子泵;

　　4.1.8當始終達不到分子泵啟動條件時,應檢查前級泵和電磁閥工作是否正常;

　　4.1.9當分子泵出現故障時,須根據故障提示作相應處理。

4.2維護與保養

　　4.2.1一級保養

　　4.2.1.1經常保持分子泵外殼的清潔;

　　4.2.1.2正常生產過程中須經常檢查分子泵溫度,聽是否有異常震動和聲音;

　　4.2.1.3檢查分子泵油位是否正常;

　　4.2.2二級保養

　　4.2.2.1分子泵工作4000工作時以上或一年必須換油一次

　　4.2.3三級保養

　　4.2.3.1檢查泵的絕緣性能;

4.3注意事項

　　4.3.1分子泵油量

　　4.3.1.1分子泵油量應處于油標上下限之限之間，不得低于油標下限，以保證軸承的良好潤滑，油標為紅色標志線。

　　4.3.1.2分子泵潤滑油采用不易裂變的低飽和蒸汽壓的專用分子泵潤滑油。潤滑油應潔凈，嚴禁污物，雜質和塵埃落入。必要時應對潤滑油進行過濾。

　　4.3.1.3更換潤滑油時，油池應清洗干凈：第一次使用時，泵工作1000小時后，即應更換;正常工作后。每工作4000小時即應更換，即使工作時間不足4000小時，一年內至少更換一次。如果泵經常烘烤或大負載工作或抽除侵蝕性氣體，潤滑油充注及更新時間間隔應縮短。

　　4.3.2泵污染

　　4.3.2.1泵污染的標志是即使漏氣和脫附氣率沒有長時間變化，甚至長時間烘烤也不能恢復其真空性能，這時應對泵進行清洗，清洗需由專業技術人員處理，嚴禁不經培訓而私自拆泵。

　　4.3.3沖擊防護：分子泵是高旋轉機械，動靜片間間隙很小，不能抗過大的沖擊。