擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)常見的故障及其排除措施如下（同時(shí)參見表15）：

　　(1) 如果擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)不漏氣，而系統(tǒng)的極限壓力卻一直達(dá)不到預(yù)想的結(jié)果，則可能是系統(tǒng)設(shè)計(jì)不合理，有效抽速低；或真空規(guī)電極放氣和真空規(guī)本身受光電流的限制，測(cè)不出低壓力。

　　(2)如果在長(zhǎng)時(shí)間使用后，擴(kuò)散泵或機(jī)組的抽氣性能逐漸變壞，即極限真空度和抽速降低，而其它情況正常，則主要是擴(kuò)散泵油逐漸氧化，質(zhì)量變壞。這時(shí)，應(yīng)更換新擴(kuò)散泵油。換油步驟為：先把擴(kuò)散泵卸下，取出泵芯，按要求將泵芯清洗烘干后正確裝配并加新油。

　　(3)由于特殊原因，如真空規(guī)管炸裂，誤開真空容器放氣閥或未關(guān)閉高真空閥等，使擴(kuò)散泵內(nèi)突然漏進(jìn)大氣時(shí)，應(yīng)立即關(guān)閉高真空閥門，停止擴(kuò)散泵加熱并強(qiáng)迫油鍋冷卻。消除故障后，應(yīng)作抽氣試驗(yàn)，并根據(jù)其結(jié)果判斷是否需要更換擴(kuò)散泵油。

　　(4)擴(kuò)散泵經(jīng)拆裝接入系統(tǒng)后，如果系統(tǒng)一切均嚴(yán)格按前述操作程序進(jìn)行抽氣的話，則應(yīng)該能達(dá)到泵原極限壓力；如果仔細(xì)反復(fù)調(diào)整各噴口間隙，真空度還應(yīng)有所提高。如果真空度抽不上去，則首先檢查該泵所在系統(tǒng)的漏氣率是否超過允許值；同時(shí)檢查擴(kuò)散泵的加熱器是否燒斷、供電電壓是否正常、泵的冷卻是否正常。如果上述方面一切均正常，則可認(rèn)為是泵芯裝配方面的問題，如裝歪、噴嘴間隙不對(duì)、泵芯在裝配前未清洗干凈、有機(jī)溶劑未烘干、泵油不夠或裝入了質(zhì)量不好的泵油及加熱功率調(diào)整不正確等。

　　(5)如果擴(kuò)散泵的工作一直正常，而且也不是動(dòng)了系統(tǒng)而使某處漏氣，而使機(jī)組的抽氣性能突然變壞，則可能是擴(kuò)散泵電爐絲斷了或保險(xiǎn)絲斷了，應(yīng)及時(shí)檢查更換。

　　(6)如果前級(jí)泵工作不正常或抽氣容量不夠，也會(huì)使擴(kuò)散泵工作不正常。

　　(7)環(huán)境溫度、濕度、冷卻水溫度等使用條件對(duì)擴(kuò)散泵的抽氣性能影響也較大。例如，當(dāng)環(huán)境溫度過高（超過35℃）時(shí)，擴(kuò)散泵性能即開始降低。

　　(8)擴(kuò)散泵加熱功率調(diào)整得不正確，也可使擴(kuò)散泵的工作狀態(tài)不正常。調(diào)加熱功率時(shí)，最好能找到返油率最低點(diǎn)的合適溫度。

　　(9)油蒸氣返流污染系統(tǒng)，也可使系統(tǒng)得極限壓力達(dá)不到預(yù)期結(jié)果，可參照真空技術(shù)網(wǎng)前文采取措施加以改進(jìn)。

表15 油擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)常見故障及排除方法