真空系統(tǒng)的主要參數(shù)選擇與計算
1、真空室(容器)的極限壓力
pj-—真空室所能達到的極限壓力
p0—真空泵的極限真空度
Q0—空載時,長期抽氣后真空室的氣體負荷(包括漏氣、材料表面出氣等)
Sp—真空室出氣口附近泵的有效抽速
在設計真空系統(tǒng)時,漏氣量主要由真空室的極限真空和工作壓力來確定。一般選取低于工作狀態(tài)下氣體負荷(工藝生產(chǎn)中放出的氣體量)的十分之一。
真空裝置允許漏量
2、真空室的工作壓力
Pg—真空室工作壓力
Q1—工藝生產(chǎn)過程中真空室的氣體負荷
從經(jīng)濟方面考慮,最好在主泵的最大抽速和最大排氣量附近選擇工作壓力。一般工作壓力選擇在高于極限壓力一個數(shù)量級。各泵最佳工作范圍請見:各種真空泵的工作范圍一文。
3、真空室抽氣口處泵的有效抽速
Sp—真空泵的抽速
U—管道流導
S—真空室抽氣口處的有效抽速
當Sp為定值時,真空系統(tǒng)的有效抽速隨管道流導變化,如下圖。