幾種典型的高真空系統(tǒng)圖
2008-10-13 鬼馬 真空技術(shù)網(wǎng)整理
這種系統(tǒng)應(yīng)用也比較廣泛。它的工作壓強(qiáng)范圍在6.67×10-2～1.33×10-3Pa。如鍍膜機(jī)、電子轟擊爐和部分電阻爐等都采用高真空系統(tǒng)。
①擴(kuò)散泵串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)一般用在工作時(shí)放氣量較小的應(yīng)用設(shè)備上。系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，工作可靠。成本低。缺點(diǎn)是系統(tǒng)起動慢，預(yù)抽氣時(shí)間長。擴(kuò)散泵油蒸氣容易返流到真空室中去。
②擴(kuò)散泵串聯(lián)油增壓泵，再串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)，該系統(tǒng)起動慢。由于有中間油增壓泵存在，故預(yù)抽氣時(shí)間短些。
③擴(kuò)散泵串聯(lián)羅茨泵，再串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)，它起動慢，但預(yù)抽氣時(shí)間短(因?yàn)橹虚g有羅茨泵)。圖16是由三個(gè)泵串聯(lián)組成的高真空系統(tǒng)。
