真空計的校準

2019-10-05 普發(fā)真空中國普發(fā)真空中國

　　如今，真空在我們日常生活中被廣泛應用于高端產品的生產及制造，并且扮演著重要角色。例如：在科研，工業(yè)流程，手機芯片，硬盤，太陽能電池，塑料干燥或者食品真空包裝等領域。

　　在當今的生產活動中，我們對真空度測量的精確性、標準化、可靠性和重復性的要求是至關重要的。當我們在進行測量的時候，高精度又是關鍵中的關鍵：

　　精度的高低會直接影響產品的生產質量，科學實驗的準確性和設備使用的可靠性。

　　要確保真空計使用時的高可靠性，就必須經常對它進行校準或標定。而根據每個不同應用的具體要求，這些校準工作必須符合國內或相關的國際標準。

　　經濟、高效、精準、國際化的機構校準及標定替代解決方案

　　生產活動中，真空計往往需要對外專業(yè)機構進行校準和標定。然而在對量大或校準間隔要求短的條件下，使用經濟的測量儀器進行現場校準能大大節(jié)約時間和費用。

　　普發(fā)真空緊湊型的校準泵組就能夠組建起這樣一個系統(tǒng)。真空技術網（http://bjjyhsfdc.com/）認為這個易于使用的便攜式系統(tǒng)是專為同時在線進行多個儀器檢測而量身定做的。其系統(tǒng)具有使用便捷、快速及符合人體工學標準的特點。

HiCube校準專用泵組

圖1：HiCube校準專用泵組

　　校準要求

　　在進行校準前，必須滿足如下條件：

　　■ 系統(tǒng)極限壓力ρE 必須超過最小校準壓力ρmin的50倍

　　(ρE ≤ ρmin/50)

　　■ 環(huán)境溫度必須恒定 (± 1°C)

　　■ 校準系統(tǒng)必須熱穩(wěn)定

　　■ 標準真空計和其他真空計在測量時真空度必須穩(wěn)定

　　普發(fā)真空解決方案

　　普發(fā)真空提供了一套緊湊、便攜的泵組用于校準。這套泵組由一套渦輪分子泵組(例如，HiCube 80 Eco)和一個采用玻璃珍珠噴沙工藝的不銹鋼腔體組成。

　　渦輪分子泵組由一個帶Holweck級的(HiPace 80)渦輪分子泵和一款干式壓縮隔膜泵(MVP 015-2)組成。這款泵組的抽速最高可達67 l/s并且最終真空度可達1 10^-7 hPa。

　　不銹鋼腔體上有六個真空計連接口。如果客戶要求，兩個參考標準(1 hPa和1,000h Pa)和一個冷陰極真空計能夠預裝在這套系統(tǒng)中。比如，壓力控制和歸零調整的預裝。所有的真空計都進行了預校準并且符合德國認證機構(German: Deutsche Akkreditierungsstelle –DAkkS)的標準。這就使得校準真空計可以被有效的實施并且符合法律和規(guī)范要求，并且這個標準是一個國際化上認可的標準。

　　此外，最多四臺真空計能安裝在不銹鋼腔體上同時進行校準。裝置內要求6臺相接的真空計要求的真空度相同，真空技術網（http://bjjyhsfdc.com/）認為這就需要在校準的時候，用獨立的進氣閥來設定并且控制真空度。

HiPace渦輪分子泵橫截面

圖3：HiPace渦輪分子泵橫截面

　　系統(tǒng)配件一覽

　　渦輪分子泵

　　渦輪分子泵(英簡: turbopumps, TMP)是由多級的，渦輪狀帶葉片的轉子通過一個無刷直流電機驅動復合軸承構成。在轉子葉片之間，有一個定子葉片，定子葉片結構與轉子相似，但與轉子成鏡像安裝。

　　分子泵的原理由是利用氣體分子和高速運動的轉子互相碰撞而將氣體分子帶出系統(tǒng)外。氣體分子碰撞到轉子的表面反彈后，將會在其原來的熱分子速度之外獲得一部分與轉子表面運動方向平行的額外速度。為了避免分子間的干擾而使運動速度下降，平均自由程的距離必須大于葉片之間的距離。因此，真空技術網（http://bjjyhsfdc.com/）認為就需要一個前級泵連接在分子泵的上游以確保分子泵內粒子密度足夠的小。

　　普發(fā)真空渦輪分子泵出色的表現是因為：

　　■ 氣體壓縮高，氣流量大

　　■ 前級壓力高

　　■ 整體式驅動單元和冷卻系統(tǒng)

　　■ 高抽速：10 - 2,000 l/s

　　隔膜泵

　　隔膜泵由傳動部分和隔膜缸頭兩大部分組成。通過進氣閥把氣體引入腔室然后傳遞到出氣閥排出氣體。

　　在此應用條件下，泵的最終壓力可達70 hPa，抽速最高可接近10 m³/h。

　　普發(fā)真空隔膜泵的優(yōu)勢：

　　■ 干泵無油

　　■ 膜片經久耐用

　　■ 震動低，噪音輕