基于PLC的PECVD溫度控制系統設計

游錦山 陳長琦 汪根生 林 勝

(合肥工業大學 合肥 230009)

　　摘要： PECVD 溫度控制系統的精確性和穩定性對獲得結構穩定和性能優良的半導體薄膜材料非常重要。本文基于西門子S7-300 可編程控制器(PLC)為控制核心，搭配觸摸屏為人機交換界面(HMI)，論述了PECVD 溫度控制系統的設計。PLC 與HMI 基于MPI協議實現通信功能，采用WinCC flexible 組態友好的控制界面，完成數據輸入/輸出、參數修改、實時監控和報警聯鎖。

　　以STEP 7 為程序設計平臺，在定時中斷組織模塊(OB35)中循環調用標準溫度功能塊(FB58)編程實現對溫度的PID 閉環控制,擴展PLC 模擬量輸入模塊SM331 對熱電阻標準模擬信號實現A/D 轉換，結合FB58 集成的脈寬調制輸出功能，將PID 運算結果轉換成脈沖占空比控制固態繼電器執行加熱動作。

　　該系統提高了PECVD 溫度控制的自動化水平，并有效縮短控制回路的調節時間，減小超調量，確保了溫度的準確控制和系統的穩定運行。

　　關鍵字：PECVD PLC HMI 溫度控制