標準編號:  JB/T 2965-1992
中文標準名稱:  濺射離子泵 性能測試方法
代替標準號:  JB 2965-81,
標準簡介:
JB/T 2965-1992 濺射離子泵 性能測試方法規定了濺射離子泵性能測試方法。 本標準適用于抽速大于10LS(-1)的離子泵。
中國標準分類號:  機械>>通用機械與設備>>j78真空技術與設備
標準狀態:  現行
標準關注次數:  35次
標準上傳日期:  2010-9-18
發布日期:  1992-01-01
實施日期:  1992-01-01
標準類別:  機械行業標準
標準頁數:  6 頁
歸口單位:  沈陽真空技術研究所
文件格式:  PDF格式

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　　JB/T 2965-1992 濺射離子泵 性能測試方法