下圖為典型的小型濺射離子泵無油超高真空抽氣系統。

1.濺射離子泵　2.鈦升華泵　3.高真空閥　4.真空室　5.粗抽閥　6.分子篩吸附泵　7.管道閥

圖 典型小型濺射離子泵超高真空系統

　　系統的操作工藝如下：啟動（冷卻）吸附泵；如果粗抽是用兩級分子篩吸附泵，則先冷卻啟動第一級吸附泵，同時給鈦升華泵通冷卻水。用第一級泵將系統粗抽到1000 Pa 左右，然后快速關閉將第一級吸附泵與粗抽管路隔斷，再用第二級泵將系統抽到0.4 到0.2 Pa。如果采用三級吸附泵粗抽時，則可用第一級泵抽到3000 到5000 Pa的壓力，用第二級泵抽到15 Pa 壓力，第三級泵抽到0.1 Pa。分級抽氣可捕集在粘滯流狀態下進入第一級中的惰性氣體，同時也可減少最后一級抽除的氣體量。這兩者的效果都是降低系統的極限壓力。

　　如果系統中有鈦升華泵，則在真空室壓力約為0.5 Pa 時就可以啟動升華泵，開始連續升華，打開高真空閥門對真空室抽氣，當真空室壓力達到0.1～0.05 Pa 時便可啟動濺射離子泵，然后關閉粗抽閥門，將粗抽管道與系統隔開。當系統壓力低于10^-5 Pa 時，則可讓鈦升華泵間斷工作，隨著系統壓力的下降，蒸鈦的間隔時間可以一次比一次加長。可使用定時電路來控制鈦升華時間和升華的間隔時間。

　　如果在系統運行前，濺射離子泵曾暴露過大氣，則系統的操作順序是先冷卻吸附泵，并接通鈦升華泵的冷卻水，同時打開高真空閥和粗抽閥，按前面介紹過的順序，用吸附泵和鈦升華泵對系統進行粗抽。當接通濺射離子泵電源時，由于泵內電極的出氣，系統的壓力將會升高，所以此時仍需用吸附泵和鈦升華泵進行抽氣，直到把放出的氣體負荷抽完為止。當系統壓力穩定在0.1 Pa 左右時，即可關閉粗抽管路閥門，進而按正常方式連續工作。

　　離子泵系統停機前，先將高真空閥關閉，再把離子泵電源關掉，整個系統可保持在真空狀態下，直到下次再用。

操作注意事項

　　（1） 濺射離子泵應在低于10^-4 Pa 的壓力下穩態運轉。

　　（2） 不要在系統壓力高于10^-1 Pa 時啟動濺射離子泵。

　　（3）不要讓離子泵在較高壓力下抽除大量氦氣。

　　（4）真空室放大氣時，應用閥門將濺射離子泵隔斷。

　　（5）應按正確順序操作吸附泵。