直流磁控濺射輝光等離子體的Langmuir靜電探針診斷

2020-04-18 真空技術網(wǎng) 真空科學與技術學報

　　摘　要：與大連理工大學合作研制了新型Langmuir靜電探針.應用研制的靜電探針,對氬氣直流磁控濺射銅等離子體進行了軸向和徑向二維空間內(nèi)的診斷.診斷結果顯示:電子溫度隨著離靶面距離增大而遞減;電子密度在徑向和軸向均存在波動;電子能量主要分布在0 eV～5 eV范圍內(nèi),高能電子占比例極少.

　　關鍵詞：直流磁控濺射;Langmuir靜電探針;等離子體;診斷

　　分類號：TN305.8　文獻標識碼：A

　　文章編號：1672-7126(2008)增刊-079-04

Langmuir Probe Diagnosis of DC Magnetron Sputtering Glow Discharge Plasma

Wen Peigang　 Yan Yue　 Wang Yonglin　 Wu Jianhua　 Zhang Guanli　 Zhang Dingguo　 Lu Wenqi　 Dong Chuang　 Xu Jun