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諧振式MEMS壓力傳感器的制作及圓片級真空封裝
為了提高傳感器的品質因數,有效保護諧振器,提出了一種基于絕緣體上硅(SOI)-玻璃陽極鍵合工藝的諧振式微電子機械系統(MEMS)壓力傳感器的制作及真空封裝方法。
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CaCu3Ti4O12多晶塊體的巨介電常數研究
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棉花介電常數單因素實驗研究
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氯化鈣溶液液滴真空閃蒸再生的實驗研究
基于探索氯化鈣除濕溶液液滴在真空閃蒸過程中的再生機理,搭建了液滴真空閃蒸特性研究的實驗臺。針對真空壓力、液滴初始半徑、初始溫度、初始濃度等因素對氯化鈣液滴閃蒸特性的影響,進行了多組實驗研究。
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氣液兩相介質阻擋放電影響因素研究
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