定容升壓法校準系統示意圖如圖12所示。

圖12：定容升壓法校準標準漏孔系統示意圖

       經預抽并烘烤容積V后，標準漏孔進氣端壓力p₁＜1.33×10³Pa，而V達到極限真空。當壓力為1.01×10⁵Pa的校準氣體（例如N₂氣）經標準漏孔流進容積V，并在V中壓力p₂穩定后，關閉閥門S₂記錄時間和環境溫度T，測出對應Δt時間的升壓Δp₂則標準漏孔的漏率為式（10）。

    氦質譜檢漏儀比較法校準系統如圖13所示。

圖13：氦質譜檢漏儀的比較法校準標準漏孔示意圖

在檢漏儀工作條件不變的前提下，先后測出已知漏孔L₁和待校漏孔L₂的進氣氦壓和訊號，則待校標準漏孔的漏率為式（11）。式中，q_L，01-已知標準漏孔L₁的漏率；p₁，p₂-分別為L₁、L₂漏孔進氣端氦壓；I₁，I₂-分別為L₁，L₂漏孔的輸出訊號；I₀-檢漏儀本底。