以GM制冷機為核心部件的低溫泵是一種超高真空獲得設備，憑借其自身的特點與優(yōu)勢，已廣泛應用于集成電路制造工藝與設備中。近年來，中國集成電路制造裝備及成套工藝快速發(fā)展，作為重要零部件的低溫泵需求量也隨之增大。本文介紹了國內集成電路制造中進口低溫泵產品的技術發(fā)展現(xiàn)狀，并對比了不同產品的技術特點。闡述了國產低溫泵進軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。

1、引言

　　集成電路(Integrated Circuit, IC)是指將各式電路微縮在芯片之內，包含了模擬電路、數(shù)字電路及混合信號電路等[1]。集成電路制造一般包括硅片的制造、晶圓的制備及元器件的封裝電測[2]。常用的半導體集成電路制造方法有化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、濺射。離子注入是現(xiàn)代先進的摻雜技術，摻雜離子在高電場和磁場作用下加速到較高的能量，然后注入半導體內部[3]。

　　如今，微芯片制造中大約有四分之一的工藝是在真空或低壓中進行的，其中包括光刻曝光、剝離和刻蝕系統(tǒng)、離子注入、濺射工藝、LPCVD、PECVD和快速熱處理等。真空反應室需提供沒有污染氣體的工藝條件[4]。

　　集成電路制造工藝過程中產生的玷污有來自晶圓除氣的氮氣和來自光刻膠掩蔽層釋放的氫氣。低溫泵是捕獲型的真空泵，采用極低溫將工藝氣體凍結或吸附在泵內部，符合集成電路制造對清潔無油、大抽速、低振動的高真空設備的需求。同時低溫泵具有優(yōu)良的穩(wěn)定性，低故障率，可長期連續(xù)運行[5]。

2、低溫泵工作原理

　　低溫泵是通過低溫冷凝和低溫吸附來抽除氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵的核心是低溫制冷機，常用的制冷機有G-M循環(huán)制冷機、索爾文循環(huán)制冷機、斯特林循環(huán)制冷機、布雷頓循環(huán)制冷機等。由于G-M制冷機工作壽命長，常用作小型制冷機低溫泵的冷源[6]。

　　制冷機低溫泵與其它高真空獲得設備相比其對空氣、水蒸氣、氮氣、氬氣、氫氣抽氣速率大；可獲得的極限真空度高并且清潔無油；真空中無任何運動部件，具有高穩(wěn)定性。

　　低溫泵在連續(xù)工作一定時間后，冷表面的沉積層變厚，吸附陣趨于飽和，抽速下降，抽氣容量接近最大值。此時需要停機后對一、二級冷板進行加熱，同時輔助通入干燥熱氮氣來釋放所冷凝與吸附的氣體，通過前級機械泵將低溫泵釋放的氣體抽除，使低溫泵再次恢復到最佳抽氣狀態(tài)，重新進行抽氣作業(yè)，這一過程就稱為低溫泵的再生[7]。

　　以PVD機臺常用的8英寸口徑低溫泵為例，圖1給出了低溫泵結構剖面圖。一級冷板也稱為80 K冷傘，用于保護低溫板免受真空室的熱輻射[8]。制冷機一級冷頭通常工作在50 K~80K，用來冷卻一級冷板與防輻射屏。二級冷板內表面粘有活性炭，用來冷凝和吸附氣體。制冷機二級冷頭通常工作在10 K左右，用來冷卻二級冷板。控制箱體內部包含有制冷機電機與控制器電路板。

圖1 低溫泵結構圖

　　1-泵殼；2-二級冷板；3-二級加熱器；4-二級溫度傳感器；5-安裝法蘭；6-一級冷板；7-防輻射屏；8-一級溫度傳感器；9-粗抽閥；10-一級加熱器；11-氦氣進；12-控制箱體；13-遠程監(jiān)控接口；14-電源接口；15-手操器接口；16-氦氣出；17-真空計；18-航空芯座；19-吹掃閥；

　　低溫泵控制器可獲得泵運行溫度、真空度等系統(tǒng)狀態(tài)；可完成自動再生控制，縮短停機再生時間；具有組網(wǎng)與遠程監(jiān)控接口，實現(xiàn)泵組間協(xié)同工作與接入主控制系統(tǒng)，提高設備集成度。

3、國外低溫泵產品發(fā)展現(xiàn)狀

　　目前，國內集成電路制造用低溫泵產品仍由歐、美、日廠商所壟斷，口徑覆蓋200mm到400mm。市場主要被CTI與住友的低溫泵產品所占有。

　　3.1 CTI低溫泵產品發(fā)展現(xiàn)狀

　　CTI Cryogenics是世界上設計制造低溫泵較早的企業(yè)，也是全球低溫泵一流的供應商。2018年Atlas Copco集團收購了Brooks Automationg公司的低溫泵業(yè)務，并將此業(yè)務置于集團旗下的Edwards子公司，低溫泵產品也正式更名為EDWARDS CTI-CRYOGENICS。

　　3.1.1 CTI On-Board系列低溫泵

　　上世紀八十年代，CTI推出了第一代On-Board系列低溫泵，口徑主要有100mm、200mm、250mm、290mm、300mm和400mm。具有以下特點：快速再生與泵組協(xié)同控制，縮短了停機再生時間以提高生產效率；具有穩(wěn)定的真空性能，以適應變化的工藝條件；具有本地與遠程監(jiān)控，支持預測性維護。圖2為On-Board低溫泵系統(tǒng)組成結構。

圖2 CTI On-Board低溫泵系統(tǒng)組成

　　集成電路PVD機臺與濺射工藝常使用200mm口徑低溫泵，且工藝腔與傳輸腔至少各配置一臺。表1給出了On-Board 8F(200mm)口徑低溫泵的技術參數(shù)[9]。CTI全系列低溫泵集成的硬件均具有：手操器，粗抽閥，吹掃閥，安全閥，真空規(guī)，一、二級冷板溫度傳感器，一、二級冷板加熱器，信號輸出繼電器，RS-232通訊接口。

　　3.1.2 CTI On-Board IS系列低溫泵

　　進入新世紀CTI推出了第二代On-Board IS系列低溫泵。這一代低溫泵最大的特點是氦氣供回氣壓力提高到400/200 psi，增加了制冷量與系統(tǒng)效率；泵控制器采用了單獨供電，不再受從氦壓縮機取電的限制；冷頭電機采用了調速控制，有效的縮短了泵的降溫時間。On-Board IS 8F低溫泵的完全再生時間小于90分鐘，快速再生時間小于35分鐘[10]，均優(yōu)于On-Board 8F低溫泵。得益于氦壓縮機技術的提升，從之前的1臺氦壓縮機可同時供給3臺On-Board 8F低溫泵，提高到1臺氦壓縮機可同時供給5臺On-Board IS 8F低溫泵。圖3為 On-Board IS低溫泵系統(tǒng)組成結構。

圖3 CTI On-Board IS低溫泵系統(tǒng)組成

　　為滿足離子注入工藝不斷提升的需求，CTI先后推出了On-Board IS 250F、On-Board IS 250FE、On-Board IS 320F、On-Board IS 320FE、On-Board IS 320FX型號的低溫泵。表2給出了不同型號低溫泵的技術參數(shù)。由表可知，CTI低溫泵對于氫氣的抽速與容量不斷提升，以滿足工藝需求。

　　3.1.3 CTI On-Board IS XP低溫泵

　　On-Board IS XP低溫泵是CTI推出的最新型低溫泵。On-Board IS XP低溫泵為PVD應用維持工藝潔凈的同時提供更大容量從而實現(xiàn)最大產能。On-Board IS XP低溫泵可增加鋁、氮化鈦、鈦和其它濺射應用工藝等過程的混合氣體容量。與現(xiàn)有的On-Board IS低溫泵相比氬氣的抽氣容量提高了50%，氮氣的抽氣容量提高了25%。6臺低溫泵共用一個氦壓縮機使系統(tǒng)效率最大化。采用與On-Board IS低溫泵相同的智能系統(tǒng)控件、制冷和壓縮機技術、電子裝置和軟件，甚至，擁有與所有On-Board IS產品相同的物理接口。表3給出了On-Board IS 8F與On-Board IS 8F XP低溫泵性能參數(shù)(泵口處加防濺射板)的對比。

　　3.2 住友低溫泵發(fā)展現(xiàn)狀

　　住友低溫泵起步較晚，但發(fā)展非常之迅速，獲得了多項專利技術，并針對集成電路應用進行了多次技術改進，其最新型低溫泵在國內集成電路行業(yè)對CTI產品已造成一定的競爭壓力。

　　3.2.1 Marathon CP 系列低溫泵

　　Marathon CP系列是住友第一代低溫泵產品，可應用于半導體器件制造、平板顯示器制造、太陽能制造以及各種涂層和熱真空系統(tǒng)。此系列低溫泵產品的控制器屬于選配部件。表4給出了CP-8LP(200mm)與CP-12(320mm)低溫泵的性能參數(shù)[11]。

　　3.2.2 SICERA低溫泵

　　SICERA是住友最新型低溫泵，使用了其專有的逆變器技術，降低了20%~30%的能源成本，從而節(jié)省了客戶使用開銷并提高了生產效率，非常適合于半導體晶圓、平板顯示器及其它半導體相關產品的生產。圖4為其具有專利技術的逆變系統(tǒng)構成。此專利使用了冷頭與氦壓縮機的雙調速技術：低溫泵一級冷板溫度由制冷機電機轉速控制，從而取消了加熱器部件；根據(jù)低溫泵使用工況，通過控制氦壓縮泵電機轉速來維持恒定的供氣壓差，達到節(jié)能目的。

圖4 住友低溫泵逆變系統(tǒng)組成

　　SICERA低溫泵標配減壓閥、安全閥、粗抽閥、吹掃閥等部件，同樣具有泵頭集成的控制器，可完成低溫泵自動再生等操作。表5給出了KZ-8L3C(200mm)PVD專用低溫泵與KZ-320L3SH(320mm)離子注入專用低溫泵的技術參數(shù)[12]。

　　3.3 CTI與住友低溫泵組網(wǎng)差異

　　CTI與住友低溫泵產品均可以使用多臺泵組網(wǎng)，構成低溫泵組，實現(xiàn)集中與協(xié)同控制。CTI On-Board IS低溫泵組使用菊花鏈式組網(wǎng)模式，采用RS-232C通訊標準。住友SICERA低溫泵組使用并行組網(wǎng)模式，采用RS-485通訊標準。通訊控制器與工控機間均采用RS-232C通訊標準。圖5給出了兩種組網(wǎng)模式的框圖。

圖5 CTI與住友低溫泵組網(wǎng)模式

4、國產低溫泵集成電路行業(yè)應用現(xiàn)狀

　　國產低溫泵的發(fā)展已有10多年的歷史，國內也誕生了多家可以自主設計、生產低溫泵的企業(yè)。國產不同口徑、用途的低溫泵已在多個行業(yè)得到應用。800mm以上口徑低溫泵多用在大型空間環(huán)境模擬系統(tǒng)[13]、科研院所大科學工程等領域[14]。中小口徑低溫泵多應用于半導體制造、高真空工業(yè)系統(tǒng)等行業(yè)[15]。特種低溫泵應用于對抽速、被抽氣體有特殊要求的場合[16]。

　　2014年國務院發(fā)布了《國家集成電路產業(yè)發(fā)展推進綱要》，近年來，國家為了促進集成電路產業(yè)發(fā)展先后出臺了[2000]18號文件、[2011]4號文件，實施了“國家科技重大專項”。在市場拉動和政策支持下，我國集成電路的技術實力顯著增強：系統(tǒng)級芯片設計能力與國際先進水平的差距逐步縮小；集成電路封裝技術接近國際先進水平；部分關鍵設備和材料實現(xiàn)從無到有，離子注入機、刻蝕機、濺射靶材等進入8英寸或12英寸生產線，同時也涌現(xiàn)出一批具備一定國際競爭力的骨干企業(yè)[13]。

　　國內成熟的可生產集成電路制造用低溫泵的企業(yè)主要以浙江博開機電科技有限公司與安徽萬瑞冷電科技有限公司為代表。博開機電公司的產品主要應用于真空鍍膜、平板顯示器件制造等行業(yè)。其產品的主要特點是使用分離式的低溫泵控制器，在強磁場、高射頻環(huán)境中有一定優(yōu)勢。使用外部加熱毯完成再生加熱功能，升溫時間稍長。

　　安徽萬瑞冷電科技有限公司作為“02重大專項”(極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝)子課題(超高真空冷泵研發(fā)及產業(yè)化)的研制單位，在總體單位北方華創(chuàng)的帶領下，依托于其10余年研制、生產低溫泵的技術基礎，開發(fā)出適合于PVD、CVD、CAD下載、離子注入機臺所用的ICP200、ICP250、ICP320和ICP400型低溫泵。

　　萬瑞冷電公司的低溫泵產品內部結構與其它低溫泵產品類似，但其對于冷傘、吸附陣等關鍵部件進行了優(yōu)化設計，更符合集成電路制造對低溫泵抽速與抽氣容量的苛刻要求。表6給出了ICP250與ICP320低溫泵的主要技術參數(shù)。

　　ICP系列低溫泵具有集成式的控制器，其強大的功能可以保證低溫泵實現(xiàn)高效的運行控制與再生流程，便捷的組網(wǎng)與通訊。ICP系列低溫泵通訊協(xié)議、機械安裝接口、使用方式、維保周期均與進口低溫泵相一致，可實現(xiàn)完全無縫替換。

5、低溫泵發(fā)展趨勢

　　隨著集成電路制造技術的不斷發(fā)展，現(xiàn)有的低溫泵產品性能在抽速、恢復時間、抽氣容量、再生周期、能耗等方面已經(jīng)不能完全滿足新工藝、新技術的需求。目前一臺氦壓縮機可供給6臺200mm口徑低溫泵使用，通過引入氦氣管理技術不僅可進一步提高氦壓縮機的輸氣量，還能根據(jù)負荷變化高效的配置各低溫泵對于氦氣的使用[18]。集成電路制造機臺對于氫氣、氬氣的抽速與抽氣容量的要求越來越高，因此大抽速、大容量的低溫泵不但能滿足半導體制造技術的發(fā)展需要，而且可延長再生周期，提高生產效率[19]。通過引入氦壓縮機與冷頭雙變頻的技術，可極大的縮短低溫泵降溫時間，而且低溫泵一級冷板控溫用加熱器也不是必須的了[20]。低溫泵控制器向著集成度、智能化、網(wǎng)絡化更高的方向發(fā)展，優(yōu)化的控制算法使其可滿足不同工況與應用環(huán)境。

6、結束語

　　國外低溫泵經(jīng)過幾十年的發(fā)展，目前迎來了技術革新期，進一步滿足集成電路制造業(yè)更高的要求。國內低溫泵產品的綜合性能與國外產品相比還有一定差距，因此，需要不斷的投入研發(fā)并緊跟技術發(fā)展方向，才能實現(xiàn)集成電路裝備零部件的完全國產化。

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　　原文首發(fā)于《真空》雜志2022年第2期