擴散泵串聯機械泵串聯冷阱系統

      圖13即是該真空系統,擴散泵串聯兩個液氮冷阱,而且真空室和冷阱6能耐400～450℃的烘烤。在此溫度下,可以清除真空室壁及冷阱壁上吸附的氣體及凝結的泵油。該系統一般可以得到1.33×10-7Pa的極限真空度。

1.真空室2.熱偶真空計3.B-A真空計4.放氣閥5.超高真空閥6,7.冷阱8.電離真空計9.擴散泵10.前級管道閥11.前級阱12.電磁閥13.機械泵14.超高真空管道閥15.烘烤裝置

圖13 油擴散泵超高真空系統

渦輪分子泵串聯機械泵的真空系統

       圖14為該系統。此系統不烘烤可以獲得10-6Pa的真空度,烘烤后的真空度可以達到10-8Pa。該系統的特點是比較清潔,可構成無油超高真空系統。

濺射離子泵無油超高真空系統

     圖15為該系統原理圖。以濺射離子泵為主泵,使用兩個分子篩泵做預抽泵,其中一個分子篩泵用來抽走真空室和濺射離子泵中的大氣壓下的氣體,另一個用來抽走烘烤及離子泵啟動時放出來的氣體。

低溫泵無油超高真空系統

      用低溫泵做為主泵,并聯或串聯分子篩吸附泵(做預抽真空泵)。該真空系統也可以用機械泵做為預真空泵,但必須在機械泵的入口管路上設置油蒸汽捕集器。

組合超高真空系統

      對于某些有特殊要求的真空系統,如對于既要求得到超高真空或無油超高真空,又同時滿足粗抽需要及能應付工藝過程中放出來的大量氣體這樣的系統,可采用組合式系統來滿足要求。圖16給出無油超高真空鍍膜機真空系統原理圖。主泵為濺射離子泵,為了提高真空度及排走蒸發材料時產生的大量氣體,配有鈦升華泵。極限真空度可達6.67×10-7Pa。用分子篩泵做主泵的預抽泵。此外,系統還配有吸附阱-機械泵粗抽系統,在壓力大于1333Pa時,機械泵不易返油,用機械泵直接對真空室抽真空,當真空室的壓力低于1333Pa以后,機械泵經吸附阱9從旁路抽真空室。

1.真空室 2.超高真空閘閥 3.濺射離子泵 4.鈦升華泵 5.超高真空閥 6.放氣閥 7.高真空閥 8.分子篩泵 9.吸附阱 10.機械泵

圖16 無油超高真空鍍膜機真空系統原理圖

      圖17給出了又一種型式的組合超高真空系統。該系統適合于真空封接爐、鉭片爐等設備。系統的主泵為濺射離子泵—鈦升華泵組。真空室極限真空可達到5×10-7Pa。系統配有油擴散泵-機械泵組成的機組,用來粗抽和作為主泵的預抽泵,同時能抽走工藝過程中放出來的大量氣體。

1.真空室 2.超高真空閘閥 3.濺射離子泵-鈦升華泵組 4.超高真空閘閥 5.冷阱 6.擴散泵 7.前級管道閥 8.超高真空管道閥 9.放氣閥 10.機械真空泵

圖17 組合超高真空系統