羅茨泵機組有無旁通閥時的操作順序

2008-11-14 真空技術網 真空技術網整理

　　1）羅茨泵機組中無旁通閥時，應先開動水環泵，被抽系統中的氣體由羅茨泵（氣體推動羅茨泵轉子自行轉動，如同流量計一般）進入水環泵后再排至大氣，待水環泵的吸入壓力（如串聯有大氣泵，則為大氣泵的吸入壓力）達到羅茨泵的起初規定值時（即允許排氣壓力），始啟動羅茨泵，機組正式運轉，開始工作。

羅茨泵機組有旁通閥

2）羅茨泵機組中有旁通閥時，如圖5所示，先啟動水環泵，接著開動羅茨泵，此時，羅茨泵進排氣壓差較大，旁通閥自動開啟，被抽容器中的氣體一部分經過旁通閥進入水環泵，另一部分在羅茨泵的作用下通過該泵也進入水環泵，顯然抽氣速率增加，這樣很快達到羅茨泵的預真空，進排氣壓差較小，閥門自動關閉（或人工關閉），機組正式工作。這種方法能大大縮短預抽時間，但設備較復雜。