U型管真空計的分類與改進形式
人類最早對于氣體壓力的測量,是從托里拆利(Torricelli)實驗開始的。U 型管真空計是使用歷史最長、結構最簡單的測量壓力的儀器,它通常是用玻璃管制成,其工作液體有多種,通常為水銀。管的一端與待測壓力的真空容器相連,另一端是封死的或開口與大氣相通,以U型管兩端的液面差來指示真空度。U型管真空計的測量范圍為105~10Pa,它是一種絕對真空計。
U 型管真空計的分類
由于U 型管一端接至待測真空系統上,另一端開口接通大氣或是封閉的,所以分為兩種形式。
。1)開式U 型管真空計:將 U 型管內充入適量的工作液(如水銀),一端開口接大氣(即環境大氣壓力p0),另一端與被測真空系統相連接(待測壓力 p),如圖1所示。在開始抽氣前,U 型管兩端均為大氣壓力,兩端液面處于同一高度。當真空系統抽氣后,隨著壓力p的降低,兩端液面的高度差隨之增大,在某一瞬間兩端處于液體靜壓力平衡狀態時,有
p= p0-ρgh
式中:p—待測壓力; p0—環境大氣壓力; h— 兩液面高度差; ρ—工作液密度; g—重力加速度。
圖1 開式U型管真空計
可以看出,開式U型管真空計的壓力指示與環境大氣壓力p0有關。如果測量時的環境大氣壓力已知(要用測壓計讀出),那么當測出液面差h后就可用上式計算出待測真空系統的壓力值p。
當工作液體為水銀時,其 密 度 ρ=13.595 ×103kgm-3,重 力 加 速 度 為 g=9.80665ms-2,則
p= p0-1.333×105h
式中:p、p0的單位為Pa;h的單位為m。
。2)閉式U 型管真空計:如圖2所示,把管內預先抽至壓力為10-1 Pa以下,然后將工作液(如水銀)注入管內,其開口端與待測真空系統相連接。真空系統抽氣前,真空系統內的壓力等于環境大氣壓力,則工作液充滿封閉端形成最大液面差h0;當系統抽氣到某一瞬間,兩端液面處于液面靜壓力平衡時,待測壓力值可用下式求得(忽略封閉端內壓力對液面的影響),即
圖2 閉式U型管真空計
p = ρgh
如工作液為水銀,則
p=1.333 ×105h
式中:h為液面高度差,m。
閉式U 型管真空計與開式U 型管真空計相比較,使用起來更方便,而且在測量壓力時無需從大數值開始,U 型管可做得短些。為了防止待測系統內突然進入大氣時,封閉端被工作液沖破,可以把U 型管轉彎處做成狹細的毛細管,用來緩和工作液的移動速度。
U型管真空計的改進形式
U型管真空計所能測量的最低壓力即其測量下限pmin。當壓力p很小時,開式U型管真空計液面差h→p0/(ρg),閉式U型管真空計液面差h→0。這時讀液面差數值就有困難了,一般用肉眼所能正確觀測的最小液面差約為0.5 ~ 1mm,如用水銀做工作液,則 pmin= 66.5 ~ 133Pa。另外,開式U型管真空計的讀數受環境大氣壓力的影響;閉式U 型管真空計受封閉端內工作液放氣的影響,使管內壓力增加,給讀數帶來誤差。為了延伸測量下限和減小測量誤差,除改用比水銀密度小的液體(如油)做工作液外,還可將其結構做些改進。
。1)用密度較小的液體來替換水銀。常用的有274硅油、擴散泵油、3號變壓器油、硼鎢酸鎘等。例如用274硅油(它具有飽和蒸氣壓低、粘度小等特點)來代替水銀制成油U型管真空計,這時同樣的壓力差就會造成較大的液面高度差,其放大倍數由水銀和油密度比來決定,這種方法可使測量下限延伸一個數量級左右。
(2)改進閉式U 型管真空計的結構。為了減小封閉端管內壓力對測量的影響,將其結構改進后如圖3所示,在U型管左右兩支管間加一個二通閥K。在不測量時,閥K將左右兩支管接通,兩邊液面處于同一高度;在進行測量時,先將兩端支管內壓力抽到10-1Pa以下,然后轉動閥K將左右支管隔斷,左支管就變成封閉端。測量過程中隨著待測壓力p的變化,兩邊液面高度差h就隨之變化,讀出h的變化即可算出壓力p的數值。這種結構可以減小封閉端因工作液放氣給測量帶來的誤差。
圖3 油U型管真空計 圖4 斜罩式U型管真空計
(3)斜置式U型管真空計。如圖4所示,液面垂直方向較小的高度差,在傾斜的方向上就出現較大的長度差,待測壓力p可由斜管內液柱長度L和傾斜角θ計算出來。由于垂直大管(工作液貯器)的橫截面積A 2遠遠大于斜管的橫截面積A1(一般A2/A1> 200),大管內液面的變化可以忽略不計,因此,被測壓力可近似地用下式求得
p= ρg L·sinθ
還有用光干涉方法制成光干涉油微壓計,測量范圍為1 ~ 10-2 Pa,準確度達 ± 1.5 × 10-2。