磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計工作原理圖

2020-05-06 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

　　根據(jù)磁懸浮轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速的衰減與其周圍氣體分子的外摩擦有關(guān)的原理制成的真空測量儀表稱為磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計。

磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計結(jié)構(gòu)圖

圖22：磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計結(jié)構(gòu)圖

　　由圖22可見，除了用于磁懸浮轉(zhuǎn)子的螺旋線圈2外，在真空室下邊還設置一敏感線圈5，通過伺服電路控制螺旋線圈2的電流，使轉(zhuǎn)子懸浮在預定高度。在真空室兩側(cè)的一對驅(qū)動線圈3產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)磁場，驅(qū)動轉(zhuǎn)子以每秒200～400轉(zhuǎn)的速度自轉(zhuǎn)。雖然轉(zhuǎn)子在給定的垂直位置會自動地趨向磁場最強處(一般在垂直對稱軸上)，但若受外界擾動，轉(zhuǎn)子將圍繞軸作水平振動。圖中緊臨真空室下方的阻尼鋼針6可使這種振動衰減。

　　這種真空計是基于氣體分子對自由旋轉(zhuǎn)鋼球的減速作用而工作的。當鋼球被驅(qū)動線圈的磁場從靜止加速到每秒400轉(zhuǎn)速之后，停止驅(qū)動場，由于氣體分子摩擦的積分作用引起鋼球自轉(zhuǎn)速度衰減，其轉(zhuǎn)速衰減與氣體壓力p有著嚴格的對應關(guān)系。

　　磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計是標準真空計，量程寬(10-1～10-5Pa)，用它作互校傳遞標準時，累積誤差小，可靠性重復性好。

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