小型電容薄膜規(guī)的設(shè)計

2013-03-09 孫雯君 蘭州空間技術(shù)物理研究所

小型電容薄膜規(guī)的設(shè)計

孫雯君，馮焱，馬奔，習(xí)振華，成永軍，趙瀾

(蘭州空間技術(shù)物理研究所，甘肅 蘭州 730000)

　　摘要：由于制作工藝、使用材料等方面的限制，我國生產(chǎn)的商用電容薄膜規(guī)存在體積大、重量重、測量準確度不高等問題，無法滿足一些領(lǐng)域的真空測量需求，因此研究并提出了一種小型電容薄膜規(guī)。

　　為防止測量過程中溫度變化導(dǎo)致的規(guī)管重要部件的熱變形，減小電容薄膜規(guī)的測量不確定度，設(shè)計中采用了因科鎳合金整體機架結(jié)構(gòu)和倒T 型結(jié)構(gòu)的陶瓷固定極板;并在機架頂部中央設(shè)計有防熱變形結(jié)構(gòu)。為消除測量過程中外界雜散電容和因溫度變化而引起的測量信號偏差，設(shè)計中采用了面積相同的雙電極結(jié)構(gòu)。

　　小型電容薄膜規(guī)整體尺寸小于Φ40mm×24mm，重量小于200g，測量下限可低至10-2 Pa，測量不確定度小于5%，可適應(yīng)較寬的工作溫度范圍，滿足不同領(lǐng)域的真空測量需求。