DL-3型熱偶規的結構原理
DL-3型熱偶規的結構如圖4-8所示。規管熱絲的工作溫度為100℃ ~200℃,對熱絲材料的要求是在工作溫度和較高壓力下具有足夠的物理和化學穩定性以及較小的電阻溫度系數。常用的材料有0.05~0.1mm的鉑絲、鎢絲和鎳絲,其中鉑絲最好。采用鉑絲能保證在工作溫度下,長期在低真空中應用而性能穩定不變。
圖4-8 DL-3型熱偶規的結構圖
對熱電偶的要求是在工作溫度范圍內有足夠的靈敏度和物理、化學穩定性,零散小并能大量生產等。常用的材料有康銅(鎳45%,銅55%)—鎳鉻合金(鎳85%,鉻15%);鉑銠—鉑;銅—康銅;鎳鉻合金-鋁鎳合金等。
由于熱偶與熱絲間的短過渡金屬絲的長度不易嚴格控制,以及熱絲直徑或長度不一致等原因,熱偶式規管的零散性很大,所以真空技術網(http://bjjyhsfdc.com/)認為原則上每支規管都要校準。通常在1×10-2 Pa的壓力下調節到滿度(約10mV),以確定規管的加熱電流,從而在全量程使用同一校準曲線。
因此,在設計熱偶真空計電源時,必須保證能有較大的加熱電流調節范圍,一般為90~150mA。