碳納米管作為理想的電子發射極被廣泛應用在x 射線管、真空微波管、平板顯示器、電子顯微鏡和真空電離規等多種電子器件中。本文重點回顧了近年來碳納米管陰極電離規的研究進展，評述了這種新型陰極電離規的優點和存在的問題，并對其發展前景作了分析和展望。

　　電離規是一種測量低壓力的真空傳感器件，它是通過測量電離電子碰撞氣體分子產生的正離子電流來間接得到氣體壓力。電離規是測量極低壓力最靈敏的器件，也是測量超高/ 極高真空唯一實際可用的真空器件。根據電離電子的產生方式，電離規分為熱陰極電離規和冷陰極電離規。縱觀電離規誕生至今近百年的歷史發現，它的發展和真空壓力的測量，尤其是極低壓力的測量密不可分。迄今為止，商業化的熱陰極電離規的測量下限為10^-11 Pa，而冷陰極電離規的測量下限僅為10^-9 Pa。盡管電離規在眾多領域具有廣泛的應用，然而它們自身存在一系列限制因素，極大的限制了規管測量下限的延伸和測試結果的可靠性。例如，對熱陰極電離規而言，熱燈絲發射的電子打到規管柵極時會導致x 射線效應和電子激勵脫附效應的產生，它們最終會通過不同的形式在離子收集極上產生一個與本底壓力無關的電流信號，極大的限制了電離規的測量下限；陰極的熱輻射會破壞測試環境的熱動平衡，致使分子密度和氣壓間的正比關系不再嚴格成立；陰極的熱輻射會誘發吸附在腔室內壁上的氣體解吸，造成腔室氣壓的變化；陰極材料的熱蒸發會引起測試環境氣壓和化學成分的變化。冷陰極電離規雖然不存在陰極發熱給極高真空測量帶來的限制因素，然而傳統冷陰極電離規具有非線性、不穩定性、抽速大、低壓力下存在放電延遲效應、在較寬壓力范圍內電流與壓力呈現非線性等不足之處。近年來，研究人員正在尋找新型的冷電子源來替代傳統的熱陰極，以此來克服電離規中熱陰極產生的不利因素，實現極高真空的精確測量。

　　碳納米管由于具有較小的曲率半徑，較大的長徑比，良好的導電性，優異的力學性能和化學穩定性等優點使其成為理想的場致發射陰極材料，并已被廣泛應用于x 射線管、真空微波管、微波放大器、平板顯示器和電子顯微鏡等多種電子器件中。除此之外，碳納米管陰極在電離規中的應用也獲得了眾多研究者的關注，真空技術網認(http://bjjyhsfdc.com/)為這是因為這種新型陰極具有許多傳統陰極無法企及的優點。

　　例如，在碳納米管陰極中，電子是在外加電場作用下產生的，這就消除了熱陰極發熱導致熱動平衡的破壞，陰極材料的蒸發等不利因素；極快的響應時間使場致發射陰極可以在脈沖電壓模式下工作，這就減小了場致發射陰極遭受離子轟擊的幾率，從而能顯著增長它的使用壽命。場致發射陰極穩定性在真空度越高的條件下越好，它的應用可以避免傳統冷陰極電離規在極高真空下不易放電的缺點。因此，場致發射陰極在電離規中的應用被認為是為解決極高真空測量而邁出的關鍵一步。本文將重點回顧碳納米管陰極在幾種常見電離規中的應用進展，評述了這種新型陰極電離規的優點和存在問題，并對其進一步發展前景作了展望。

1、碳納米管陰極電離規

　　在碳納米管陰極電離規中，場發射陰極產生的電子在電場力的作用下加速飛向陽極柵網，在此過程中電子與氣體分子碰撞，并使部分氣體分子發生碰撞電離，電離產生的正離子數正比于氣體分子密度。在溫度一定的前提下，氣體分子密度正比于測試壓力。因此，通過測量離子電流的大小間接得到測試壓力值，這就是下面介紹的幾種不同類型電離規的工作原理。

1.1、碳納米管陰極分離規

　　2004 年，董長昆等人首次在國際期刊上報道了碳納米管場發射陰極電離規實驗研究。研究者利用生長在鎳襯底上的多壁碳納米管制成電離規陰極，利用物理透過率為80%的鎢網作門電極，門電極到碳納米管陰極間距為200 μm。碳納米管陰極在10^-4 Pa 的真空環境中發射性能衰變明顯，但在壓力小于10^-6 Pa 的超高真空環境下具有非常好的發射穩定性。此外，對比研究表明碳納米管陰極的放氣效應可以忽略不計。圖1(a)為碳納米管陰極電離規的結構示意圖，圖1(b)給出了氮氣中這種新型陰極電離規離子電流和壓力之間的線性關系。如圖所示，在10^-8 Pa 到10^-4 Pa 的壓力范圍內，離子電流和氣體壓力具有良好的線性關系。此外，這種規在10^-8 Pa 的氮氣環境中測量誤差為±10%，在其它壓力段測量誤差只有±5%，低壓力端較大的測量誤差主要源于離子收集極小電流的測量所引入的誤差。研究的電離規管靈敏度約為0.03 Pa^-1，略小于熱陰極分離規的靈敏度0.05 Pa^-1。較高的柵極電壓(~650 V)導致電子能量過高，從而使氣體電離幾率減小，規管靈敏度降低。作者認為，如果進一步提高陰極的發射電流，該規的測量下限可以達到極高真空范圍。

圖1 碳納米管陰極分離規示意圖(a)和離子電流- 壓力特性曲線(b)

1.2、碳納米管陰極B-A 規

　　2007 年，中山大學黃健星等人首次報道了碳納米管陰極在B-A 規上的應用結果。研究者將多孔柵網彎曲成半圓筒狀，再與棒狀碳納米管陰極組裝起來替代了B-A 規的鎢絲陰極，這里的棒狀陰極是生長在直徑為0.7 mm，長為30 mm 的不銹鋼棒上高密雜亂的碳納米管。門極與碳納米管陰極和環形柵極間的距離分別為0.65 mm 和3 mm。為了獲得穩定的發射電流，在碳納米管陰極實際應用之前，首先經歷了24 h的老練處理，期間發射電流大于1 mA。電離規性能測試時，碳納米管陰極的發射電流恒定為0.8 mA，門極和柵極電壓分別為500 V 和750 V，此時發射電子透過門極的概率最大~30%。圖2(a)為碳納米管陰極B-A 規的結構示意圖，圖2(b)是歸一化的離子電流- 壓力特性曲線。如圖2(b)所示，在3×10^-4 到3×10^-3 Pa 和4×10^-5 到1×10^-4 Pa的兩個壓力范圍內，收集極離子電流和陰極電流之比均隨壓力的升高而線性增大。另外，從離子電流- 壓力特性曲線斜率得出規管在低壓力段和高壓力段的靈敏度分別為0.024 Pa^-1和0.027 Pa^-1，此值遠小于熱陰極B-A 規的靈敏度(~ 典型值為0.113 Pa^-1)，這主要是因為門極電壓(~500 V)和柵極電壓(~750 V)較高所致。此外，研究者在文中還給出了提高規管靈敏度的一些建議。

圖2 碳納米管陰極B-A 規結構示意圖(a)和歸一化的離子電流-壓力特性曲線(b)

1.3、碳納米管陰極鞍場規

　　2005 年，清華大學盛雷梅等人首次報道了碳納米管陰極應用在鞍場電離規上的實驗研究。如圖3(a)所示，該電離規主要由柵極、收集極、陽極、屏蔽極和碳納米管陰極組成，它具有尺寸小、結構堅固、靈敏度高和功耗低等優點。這里的陰極是熱化學氣相沉積在多孔硅上的垂直趨向的多壁碳納米管經反粘到鎳棒的一端制成，陽極環和離子收集極為鉬絲、柵極和屏蔽極為透過率為90%的鎢網，陰極表面和柵極間距為40 μm，柵極和屏蔽極間距為130 μm。如圖3(b)所示，在10^-5 Pa 到10^-2 Pa 的壓力范圍內，收集極子電流和測試壓力之間具有良好的線性關系。這種電離規靈敏度顯著依賴于陽極電壓和陰極電壓，當陰極電壓為65 V，陽極電壓為800 V 時，規管靈敏度最大~1.7 Pa^-1。在進一步的研究中發現，該碳納米管陰極的場發射穩定性較差(測試的最初5 min內電流波動高達14%)。但是考慮到鞍場電離規具有較弱的x 射線效應和電子激勵脫附效應，研究者推測這種新型的碳納米管電離規可以用于超高甚至極高真空的測量。

圖3 碳納米管陰極鞍場規結構示意圖(a)和離子電流隨壓力的變化關系(b)

1.4、碳納米管陰極微型規

　　2007 年，Brower 等人首次報道了利用碳納米管陰極作電子源的微型單片電子碰撞離子源[15]。該器件由碳納米管陰極、柵網和離子收集極構成，器件電極均由多晶硅制成，制作過程中采用了多晶硅微機電系統加工技術。在生長碳納米管之前，首先選擇性的在陰極電極上熱蒸鍍5 nm厚的鐵作催化劑，然后利用微波等離子體化學氣相沉積技術生長碳納米管。碳納米管直徑平均為30 nm，長度為20 μm。柵極到碳納米管表面間距為30 μm，到收集極間距為280 μm。碳納米管陰極尺寸為70×70 μm²，它有3×3 個20×20 μm²的方孔。圖4(a)給出了微型單片電子碰撞離子源結構示意圖。在三種不同的惰性氣體(He，Ar，Xe)中研究了器件的真空計量特性(圖4(b))。研究表明，當陰極發射電流為1 μA 時，歸一化的離子電流與三種惰性氣體在10-2 到101 Pa 的壓力范圍內具有很好的線性關系，另外從離子電流—壓力特性曲線斜率推測出器件對三種氣體的靈敏度分別為0.0083 Pa^-1(He)，0.0090 Pa^-1(Ar)和0.0075 Pa^-1 (Xe)。在進一步的研究中發現，碳納米管陰極具有良好的場發射性能。在1 mTorr 的氦氣氛圍中，連續發射1 h 后電流的衰減非常微弱。這種器件具有小尺寸和低功耗的優點，如果能證明其結構的牢固性，它具有寬廣的應用范圍。

圖4 碳納米管微型三極離子源結構示意圖(a)和歸一化離子電流隨壓力的變化關系(b)

1.5、碳納米管陰極三極結構電離規

　　2008 年，清華大學楊遠超等人報道了一種用碳納米管陰極作電子源的低真空電離規。如圖5 (a) 所示，該規具有簡單的三極管式結構—碳納米管陰極，金屬門柵極和離子收集極。碳納米管陰極采用絲網印刷法制成，多壁碳納米管和有機膠作為制備陰極的漿料，碳納米管陰極面積為20×30 mm²，制成后經400 ℃退火處理以便去除有機膠；門極為物理透過率為80%合金，它距離碳納米管陰極180 μm，距離離子收集極1.1 mm。在氦氣、氬氣、氮氣和空氣中研究了該規管的真空計量特性，如圖5(b)所示，在10^-5到10² Pa 的壓力范圍內，歸一化的離子電流與測試氣體壓力具有良好的線性關系，從離子電流—壓力特性曲線斜率推測出該規對四種氣體的靈敏度各不相同，分別為0.0029 Pa^-1 (He)，0.0131 Pa^-1 (air)，0.0235 Pa^-1 (N2)和0.0468 Pa^-1 (Ar)。在接下來的研究中發現，這種原始的碳納米管陰極在10^-4 Pa 以上的壓力環境中發射性能下降很快，因此，為了改善碳納米管陰極發射穩定性，在陰極表面磁控濺射了一層20 nm 厚的多晶碳化鉿。在氮氣氛圍中的研究表明，碳化鉿的沉積雖然使陰極開啟場增大，但它顯著改善了低真空環境中的場發射特性。這種簡單三極結構電離規具有功耗低、靈敏度低、無熱效應等優點，有望應用在低真空環境中。

圖5 碳納米管陰極三極結構電離規示意圖(a)和歸一化離子電流隨壓力的變化關系(b)

1.6、碳納米管陰極雙柵極結構電離規

　　2005 年，Choi 等人設計了一款簡單的三極管式碳納米管陰極電離規，但這種電離規的壓力測量范圍較窄，且碳納米管陰極性能衰竭嚴重[。為了改進三極管式碳納米管陰極電離規計量學特性，Choi 等人于2007 年設計了一款結構復雜的電離規，如下圖6(a)所示。相對于先前的簡單三極管式電離規，研究者在線性離子收集極上、下各加了一個柵極，稱之為第二柵極。第一柵極用來提取和加速電子，兩個第二柵極用于囚禁電子和離子，這種結構設計大幅拓寬了電離規線性測量范圍，在氮氣氛圍中，離子電流和壓力在10-5到1 Pa 的范圍內具有良好的線性，但是這種結構對陰極性能衰減的改善非常有限。因此，他們將原來的直流電極電壓改成調制脈沖電壓，當調制比為20%時，碳納米管陰極在20 h 的連續發射下電流沒有絲毫衰減，這就有效的提高了這種電離規的使用壽命。

圖6 碳納米管陰極雙柵極結構電離規示意圖(a)和歸一化的離子電流隨壓力的變化關系(b)

1.7、蘭州空間技術物理研究所的相關工作

　　近年來蘭州空間技術物理研究所與蘭州大學、溫州大學合作，開展了關于碳納米管陰極電離規的實驗研究和理論模擬，并取得了一些積極的進展。2012 年，利用化學氣相沉積技術在陽極氧化鋁模板上成功制備了均勻直立、密度可控的碳納米管陣列，然后在碳納米管陣列的表面濺射沉積一層銀，并通過簡單的熱處理將它和錳電極結合起來，緊接著將氧化鋁模板下表面酸蝕掉，用露出的碳納米管根部作發射極。這種直徑可控、垂直生長、均勻分布、電接觸良好的碳納米管陰極具有優異的場致發射性能，有望滿足電離規上的應用要求。圖7(a)為陽極氧化鋁模板上生長的碳納米管透射電子顯微照片，圖7(b)和(c)為碳納米管陰極場發射特性曲線。

圖7 陽極氧化鋁模板上生長的碳納米管透射電子顯微照片(a)和碳納米管發射極J-E 特性曲線(b)和F-N 曲線(c)

　　理論上，2012 年通過構建碳納米管陰極電離規物理模型，利用數值模擬的方法研究了電離規電極電壓、位置、電流和門極結構、間距、物理透過率對靈敏度的影響，確定了獲得高靈敏度電離規的結構參數和電學參數，這是延伸電離規測量下限的前提和基礎[20]。圖8 給出了構建的碳納米管陰極電離規三維物理模型。

圖8 碳納米管陰極電離規三維物理模型

2、結束語

　　碳納米管陰極電離規具有功耗小，響應快，出氣少，不存在光輻射和熱輻射等優點，使其有望解決傳統電離規自身存在的一系列問題而實現極高真空的測量。因此，近年來碳納米管陰極電離規的研究吸引了眾多研究者的關注，并取得了一些有意義的研究成果。然而，綜觀近年的相關研究報道，我們發現碳納米管陰極電離規仍然存在如下問題：

　　第一，碳納米管陰極電離規靈敏度較低，已報道的碳納米管陰極電離規沒有一款靈敏度大于相應的熱陰極電離規，這是限制延伸碳納米管陰極電離規測量下限的重要原因之一；

　　第二，碳納米管陰極發射電流偏小，已報道的碳納米管陰極電離規的發射電流往往只有幾十μA的量級，遠小于相應的熱陰極電離規燈絲mA 量級的發射電流，從而限制了該種電離規測量下限的拓展；

　　第三，碳納米管陰極在超高真空中具有良好的場發射特性，而在低真空它的發射穩定性很差，這就限制了它的應用范圍；

　　第四，有關碳納米管陰極電離規的理論研究較少，致使人們對這種新型陰極電離規中的物理過程缺乏認識。

　　鑒于上述分析，未來在碳納米管陰極電離規的研究中，應該從如下幾點入手：

　　第一，改進碳納米管制備技術，大幅提高碳納米管陰極發射穩定性和電流密度；

　　第二，優化電離規管結構參數和電學參數，解決碳納米管電離規靈敏度低的問題；

　　第三，深入對碳納米管陰極電離規的理論研究，深化對其中物理現象產生機理的認識，這是解決限制碳納米管陰極電離規延伸測量下限的前提條件。