質(zhì)譜計(jì)的分類與主要性能參數(shù)

2020-05-06 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  質(zhì)譜計(jì)的種類很多,可根據(jù)質(zhì)量分析系統(tǒng)的工作原理來表征和命名。如:磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)、飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)、射頻質(zhì)譜計(jì)、諧振感應(yīng)質(zhì)譜計(jì)和四極質(zhì)譜計(jì)等。

  質(zhì)譜計(jì)的主要性能參數(shù)如下:

  1、質(zhì)量范圍:在滿足一定分辨能力的前提下,質(zhì)譜計(jì)所能分析的質(zhì)量數(shù)范圍叫做該質(zhì)譜計(jì)的質(zhì)量范圍。

  2、分辨能力和分辨本領(lǐng):儀器的絕對分辨能力是儀器對給定質(zhì)量M的離子的分離能力的一種量度,由峰寬△M表示。峰寬是在一定峰高處測量。

  儀器的分辨本領(lǐng)是質(zhì)量與絕對分辨能力之比,即M/△M。圖25示出了分辨本領(lǐng)的兩種定義(△M/0.1h和△M/0.5h)。

質(zhì)譜計(jì)分辨本領(lǐng)的兩種定義

圖25:質(zhì)譜計(jì)分辨本領(lǐng)的兩種定義

  3、靈敏度:質(zhì)譜計(jì)輸出離子流Ii與該氣體在離子源中的分壓力Ppi,之比稱為靈敏度Si,即

Si=Ii/ppi (15)

  4、最小可檢分壓力pPmin:在所分析的氣體樣品中,質(zhì)譜計(jì)可以檢測出的氣體i的最小分壓力稱為最小可檢分壓力pPmin。

  5、分壓比靈敏度γmin在一定背景的總壓力Ptot中,質(zhì)譜計(jì)能檢測出某種氣體的最低分壓力Pmin的能力,稱為分壓比靈敏度γ,即

γmin=pPmin/Ptot (16)

  6、最高線性工作壓力:質(zhì)譜計(jì)的工作壓力通常指總壓力。

分壓測量相關(guān)的文章: