真空閥門主要用來切斷或連通管路氣流，以及調節氣流量的大小。

　　常用真空閥門的密封部有橡膠墊圈密封結構和金屬墊圈密封結構。橡膠墊圈密封結構是利用閥板與閥座壓緊橡膠墊圈，依靠橡膠的彈性變形來實現的密封。金屬墊圈密封結構是依靠軟金屬受壓產生塑性變形而達到密封目的。橡膠墊圈密封結構一般用于中低真空領域;金屬墊圈密封結構一般用于高真空和超高真空領域。

　　真空閥門的主要性能參數是導通率、漏氣率、開關動作的可靠性和準確性，以及閥門的開閉時間。閥門按照驅動形式分為手動和自動兩種。自動閥門以壓縮空氣驅動為主，一部分小型閥門通過電磁鐵來驅動。真空系統中常用的閥門大體有4種形式，即角閥、閘板閥、微調閥、放氣閥。另外，在氣路中常用到針閥和球閥。各種真空閥門根據應用的真空領域和使用目的而選定。