角閥的工作原理及結構示意圖

2019-10-05 郭方準 實用真空技術

　　角閥的氣體通路呈90°，密封面采用氟膠圈密封方式，通過波紋管實現真空中的直線驅動。該閥門體積小、安裝方便，主要用于真空系統中的排氣管路連接，特別是和機械泵的連接。

　　有時也需要能直接連在超高真空腔體上，用做氣體導入或差分抽排氣的CF法蘭角閥。能滿足這種功能的角閥是全金屬角閥，內部密封面采用無氧銅和不銹鋼刀口的密封組合，可耐300℃以上的高溫烘烤。

　　圖1 分別是氟膠圈角閥和全金屬角閥的示意圖。

氟膠圈角閥和全金屬角閥的示意圖

圖1 氟膠圈角閥和全金屬角閥的示意圖