太陽能以其清潔、源源不斷、安全等顯著優勢成為人們關注的重點。太陽輻射能量約50％在可見光譜區(波長0.4~0.76 μm)，7％在紫外光譜區(波長＜0.4 μm)，43％在紅外光譜區(波長＞0.76 μm)，因此要求吸收太陽能的涂層有高的吸收率而對紅外線輻射小。太陽能選擇性吸收涂層對可見光的吸收率很高，而自身紅外輻射率很低，能夠把低品位的太陽能轉換成高品位的熱能，對太陽能起到富集作用，是太陽能熱利用中的關鍵技術，對提高集熱器效率至關重要。高溫太陽光譜選擇性吸收膜是決定高溫真空管集熱管效率及發電效率的關鍵技術之一。

　　具有對太陽主要光譜的高吸收率和把吸收的太陽能儲存在金屬內部的能力(低發射率)，需要有良好的環境穩定性、機械性能和耐高溫性能。AlN 具有較高的強度，良好的熱穩定性和化學穩定性，硬度高，耐磨性好，可作為一種強化涂層。本文依據對聚光太陽能系統中的導熱金屬管鍍膜工藝的需要，設計和建造了全封閉磁場非平衡磁控濺射鍍膜機，解決太陽光譜選擇性吸收膜的鍍膜工藝問題，制備WAlN 體系耐高溫太陽光譜選擇性吸收膜層。鎢是作為金屬陶瓷中的金屬成分沉積，鋁與氮氣反應形成作為金屬陶瓷中的氮化鋁介電材料。選用金屬鎢用在金屬陶瓷中是鎢金屬具有良好的耐高溫性能。探討了AlN/WAlN/W太陽能選擇性吸收多層薄膜的制備工藝對光譜吸收性能的影響。

3、結論

　　采用全封閉磁場的非平衡態磁控濺射系統沉積了AlN/WAlN(多層)/W 多層薄膜。分析結果表明，薄膜沉積設備性能穩定，工藝簡單，W 和Al 靶材濺射率高，Al 靶有濺射電壓閾值，只有加載電壓超過濺射電壓閾值后，Al 靶才發生濺射現象。獲得的AlN（多層）/WAlN(多層)/W 薄膜中各層薄膜表面質地都較均勻，結構致密，且為多晶態或納米晶薄膜。該結構膜系對200~2000 nm 范圍內的光波有較高的吸收效果，平均吸收率可達96%以上，吸收性能優異，達到實際可應用。

　　【作者】 Иванова Татъяна Сергееъна； 李劍鋒； 周福云； 王德真； 李國卿；

　　【Author】 Иванова Татъяна Сергееъна1,LI Jian-feng2,ZHOU Fu-yun3,WANG De-zhen1,LI Guo-qing1(1.Dalian Jiaotong University,Dalian 116028,China;2.Dalian University of Technology,Dalian 116024,China)3.Dongguan Camda Co.,Dongguan 523626,China)

　　【機構】 大連理工大學； 大連交通大學； 東莞康達機電公司；

　　【摘要】 采用全封閉磁場的非平衡態磁控濺射系統,以純金屬為靶材,制備了AlN/WAlN(多層)/W薄膜。X射線掠射(GID)、掃描電鏡(SEM)以及分光光度計等測試手段分析薄膜的相結構、表面形貌以及吸收光譜等特性。結果表明,薄膜沉積設備性能穩定,W、Al靶材濺射率高。獲得AlN/WAlN(多層)/W薄膜中各層薄膜表面質地都較均勻,且為多晶態或納米晶薄膜。該結構膜系對波長在200～2000nm范圍內的光波有較高的吸收效果,平均吸收率可達96%以上,吸收性能優異。

　　【Abstract】 AlN/WAlN(multilayer)/W thin films were prepared by fully-closed and unbalanced magnetron sputtering process with pure metals as targets.Grazing-incidence X-ray diffraction(GID),scanning electronic microscope(SEM) and spectrophotometer were used to characterize the phase structure,composition,micromorphology and absorbing spectra of the thin films.The results indicated that the performance of sputtering system is stable with high sputtering rates from W and Altargets,and all the layer surface are in the homogeneous distribution and most of them are polycry stalline or in nano-size thickness.The AlN/WAlN(multilayer)/W films have high solar absorption effect within the wavelength range from 200 to 2000nm,and their average solar absorption rate can come up to 96%,ie.,a very high absorbability.

　　【關鍵詞】 太陽能； 吸收涂層； 磁控濺射； WAlN/W；

　　【Key words】 Solar energy； absorbing coating； magnetron sputtering； WAlN/W；