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推薦磁控濺射鐵磁性靶材的主要方法

由于磁控濺射鐵磁性靶材的難點是靶材表面的磁場達不到正常磁控濺射時要求的磁場強度，因此解決的思路是增加鐵磁性靶材表面剩磁的強度。

  • 濺射氣壓對磁控濺射成膜性能的影響

    濺射氣壓( 工作氣壓)是一個很重要的參數, 它對濺射速率, 沉積速率以及薄膜的質量都有很大的影響。實驗得知濺射氣壓超過0.55Pa 后, 結合力和焊接合格率隨著氣壓增大而迅速下降。因此, 認為0.5 Pa 左右的濺射氣壓是比

  • 濺射功率對金屬化薄膜性能的影響分析

    濺射功率對金屬化薄膜性能的影響主要表現在對成膜速率、薄膜形貌、薄膜性能等方面的影響，結合實驗，分別分析了各個影響。

      

        

            
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