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PET纖維基AZO透明導電薄膜濺射工藝參數的優化
室溫下,結合正交實驗表,用射頻磁控濺射在滌綸(PET)非織造布基材上生長AZO(Al2O3:ZnO)納米結構薄膜。采用四探針測量儀測試AZO薄膜的方塊電阻,用原子力顯微鏡(AFM)分析薄膜微結構;通過正交分析法對實驗L9(33)AZO薄膜的
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ITO薄膜的磁控濺射關鍵工藝參數的優化
通過磁控濺射陶瓷靶制備ITO 薄膜的工藝實驗,研究了基底溫度、濺射電壓、氧含量等主要工藝參數對該薄膜光電性能的影響。實驗結果表明:當基底加熱溫度為295 ℃、濺射電壓為250V、氧分壓占鍍膜室總壓力的8 %即主要工藝
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JB/T 8945-1999 真空濺射鍍膜設備
JB/T8945—1999真空濺射鍍膜設備標準適用于壓力在1×10-4~5×10-3Pa范圍的真空賤射鍍膜設備,規定了真空濺射鍍膜設備的型號和基本參數,技術要求,試驗方法,檢驗規則,標志、包裝、運輸和貯存等。
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反應磁控濺射的工作原理和遲滯現象的解決方法
反應磁控濺射技術是沉積化合物薄膜的主要方式之一。沉積多元成分的化合物薄膜,可以在濺射純金屬或合金靶材時,通入一定的反應氣體,如氧氣、氮氣,反應沉積化合物薄膜,這就稱這反應磁控濺射。
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反應濺射AlN 薄膜的動態特性
反應磁控濺射方法制備AlN薄膜是一種很普遍的方法,為了增強對該過程的理解,建立了反應濺射過程的動態模型.應用該模型分析了當氮流量增加或減少時,過程中的各個參數隨時間變化的瞬態行為.
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磁控濺射靶磁場結構優化后實際刻蝕效果與實驗
磁控濺射是現代最重要的鍍膜方法之一, 具有簡單, 控制工藝參數精確和成膜質量好等特點。然而也有靶材利用率低、成膜速率低和離化率低等缺點。研究表明磁場結構對上述問題有重要影響, 本文介紹了一種磁控濺射靶磁路優
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磁控濺射靶的磁場的優化設計
采用的是磁路疊加原理來改進磁控濺射靶的磁場,最后形成的水平磁場是接近于矩形波的雙峰形式。這樣靶面的磁力線和磁場強度的水平分量更加平滑, 能夠有效地增加靶面跑道的寬度, 實現靶面均勻刻蝕。
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直流磁控濺射的工藝參數對鋁膜沉積速率的影響
Al膜的沉積速率隨著濺射功率的增大先幾乎呈線性增大而后緩慢增大; 隨著濺射氣壓的增大, 沉積速率不斷增大, 在0.4 Pa 時達到最大值后, 沉積速率隨濺射氣壓的繼續增大而減小。
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