GB/T 19956.1-2005 容積真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量

2009-06-04 全國真空技術標準化技術委員會 真空技術網整理

GB/T 19956.1—2005 容積真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量

Positive-displacement vacuum pumps—Measurement of performance characteristics—Part 1:Measurement of volume rate of flow(pumping speed)

(ISO 1607-1:1993,IDT)

        GB/T 19956《容積真空泵性能測量方法》分為兩個部分:

       第一部分:體積流率(抽速)的測量

       第二部分:極限壓力的測量

       本部分為GB/T 19956的第一部分。

       本部分等同采用ISO 1607-1:1993《容積真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量》。

       本部分代替JB/T 7266-1994《容積真空泵性能測量方法》。

一、范圍

       GB/T 19956的本部分規定了容積真空泵體積流率測量方法,所研究的泵是直排大氣的并且單級獲得低于100Pa的入口極限壓力。

二、術語和定義

       下列術語和定義適用于GB/T 19956的本部分。

       2.1、體積流率(抽速) volume rate of flow (pumping speed)

       在理想狀態下,單位時間內流經泵入口的氣體體積。

       但在實際上,一個給定泵在規定條件下工作,對給定氣體的體積流率(S)取該氣體的流量(Q)與在給定測試罩內規定位置的平衡壓力(P)的商。即:

S=Q/P

       體積流率采用的單位為立方米每小時(m3/h)或升每秒(L/S)

       2.2、測試罩 test dome

       是裝在泵入口具有規定形狀和尺寸的容器,被測量的氣體通過它進入泵內,其上裝有壓力測量裝置。

       2.3、極限壓力 ultimate pressure

       泵在正常工作情況下,關閉進氣閥門,測試罩趨向的最低壓力。

三、裝置

      3.1、測試罩

       如圖所示,形狀為圓柱體。罩的軸向尺寸為1.5D,D為罩的內徑。實驗氣體進口在罩的軸線上,并與連接法蘭的距離為D,進氣口的排列應使氣體自背離泵口的方向進入測試罩。測量入口壓力和極限壓力的真空計在距離連接法蘭0.5D處,其軸線垂直于罩的軸線。測試罩的軸線應垂直于泵入口法蘭平面。

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