容積真空泵標(biāo)準(zhǔn)釋疑

2016-01-11 周君斐 浙江真空設(shè)備集團(tuán)有限公司

  本文對容積真空泵的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)作了評述,提出了一些新的看法和建議,在如何按照國情、貫徹執(zhí)行國際標(biāo)準(zhǔn)方面,對標(biāo)準(zhǔn)中不夠完整、不夠確切的地方提出了改進(jìn)意見,最后提出了考核節(jié)能效益的能效比概念和考核方法。

  容積真空泵有許多產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)和試驗方法標(biāo)準(zhǔn),有的是多年未修改,有的是近些年來已進(jìn)行了修訂,但還有一些方面需要研究和探討。ISO 也發(fā)布了一些新標(biāo)準(zhǔn),需要根據(jù)我國的具體情況進(jìn)行選擇性的貫徹。對此,根據(jù)我們多年的實踐和研究,提出一些新的看法和見解。

1、基礎(chǔ)壓力與極限壓力

  1.1、概述和定義

  極限壓力的定義是:泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗罩并按規(guī)定條件工作,在不引入氣體正常工作的情況下,趨向穩(wěn)定的最低壓力。這就是說,它是一個無限的漸近的值,就象數(shù)學(xué)中的無窮小一樣,它是一個變量,在變化過程中它永遠(yuǎn)也達(dá)不到所謂的極限和最低,是一個無法測量的值。也正如ISO 21360-2007 指出的,極限壓力是測試罩內(nèi)漸近的壓力值,它是泵可獲得的最低壓力,但沒有一個實際的測量方法或規(guī)范。因此我們通常所測得的所謂極限壓力,只不過是假定的、人為認(rèn)定的極限壓力值,因此它沒有實際意義。ISO 21360-2007提出了一個新概念—基礎(chǔ)壓力,它的定義為:真空泵和測試罩達(dá)到工作條件后,測試罩內(nèi)的壓力。又指出,通常測試罩指定位置所測得的壓力即為基礎(chǔ)壓力。我們認(rèn)為它的定義說得不夠明白、不夠確切、也不夠全面。

  我們認(rèn)為基礎(chǔ)壓力正確的定義應(yīng)為:“泵按規(guī)定條件工作,在不引入氣體的情況下,標(biāo)準(zhǔn)測試罩內(nèi)趨向穩(wěn)定的壓力”。它與原來的極限壓力的定義相比較,基礎(chǔ)壓力的定義中取消了關(guān)鍵的“最低”一詞,也就沒有了極限的含義,因此這是一個可以測量的值,雖然是趨向穩(wěn)定,但也已經(jīng)離穩(wěn)定不太遠(yuǎn)了。

  1.2、基礎(chǔ)壓力的測量

  泵按規(guī)定條件工作,在不引入氣體的情況下,至少運(yùn)轉(zhuǎn)1h (氣鎮(zhèn)泵應(yīng)預(yù)先在氣鎮(zhèn)狀態(tài)下至少運(yùn)轉(zhuǎn)1h),每間隔30min 測量一次測試罩內(nèi)壓力,當(dāng)連續(xù)三次測量結(jié)果表明壓力不再變化,即認(rèn)為達(dá)到了基礎(chǔ)壓力,分壓和全壓的測量應(yīng)同時進(jìn)行。氣鎮(zhèn)泵應(yīng)在上述測量后,完全打開氣鎮(zhèn)閥,泵溫穩(wěn)定后重新測量氣鎮(zhèn)時的基礎(chǔ)壓力。

  1.3、測量儀表

  分壓一直是用壓縮式真空計測量的,它的工作液是汞,考慮到環(huán)境污染,國際上非常重視限制和禁止使用汞的工作,我國最大的汞使用行業(yè)—氯堿行業(yè)已明確汞污染防治的總體規(guī)劃時間表,2021-2030 年為無汞化階段。禁止使用汞的時代終將來到,但到目前為止還沒有一種儀表可以取代它來直接測量分壓,因此這項工作必須抓緊進(jìn)行。在現(xiàn)階段建議用薄膜真空計(加冷阱)來測量分壓,或者是干脆取消分壓的考核和測量,因為分壓對用戶來說并沒有多少實用意義,國外不少公司也已取消了分壓指標(biāo)。

  全壓用薄膜真空計測量。薄膜真空計中常用的是差動式雙電容薄膜計,它不但測量精度高,而且測量下限可達(dá)10-3 Pa。它有一個高真空基準(zhǔn)膜盒,薄膜計的示值實際上是傳感器的測量值與基準(zhǔn)膜盒相比較的結(jié)果,基準(zhǔn)膜盒由于存在著放氣和漏氣,它的真空度雖然非常緩慢、但都在不斷地下降,因此薄膜計的零位應(yīng)該經(jīng)常進(jìn)行校準(zhǔn),尤其是對低量程的1Torr(133Pa)和0.1Torr(13Pa)的傳感器而言,它的影響更大,故基準(zhǔn)膜盒應(yīng)根據(jù)具體變化情況,及時進(jìn)行高真空處理或更換。

  還有一點必須注意,薄膜真空計在使用中,低量程傳感器絕對不可充入大氣,即使在仃止使用期間,也必須保持在較高的真空狀態(tài)下,以免膜片產(chǎn)生永久變形,影響薄膜真空計的測量準(zhǔn)確度。熱傳導(dǎo)真空計從結(jié)構(gòu)上分析,它應(yīng)該有較好的測量準(zhǔn)確度,但市場上各種真空計之間相對誤差較大,即使是同一廠商生產(chǎn)的真空計之間也有類似問題,因此真空技術(shù)網(wǎng)(http://bjjyhsfdc.com/)認(rèn)為使用部門必須要有校準(zhǔn)設(shè)備,定期進(jìn)行校準(zhǔn),以保證熱傳導(dǎo)真空計的測量準(zhǔn)確度,才能滿足泵性能測量的要求。

2、體積流率volume flow rate

  2.1、體積流率與抽氣速率

  抽氣速率一詞在我國已經(jīng)沿用了幾十年,嚴(yán)格地的說,它不規(guī)范、不確切。國際標(biāo)準(zhǔn)中早已稱為體積流率,但我國的GB/T 3163 真空技術(shù)術(shù)語中,前后存在矛盾。在一般術(shù)語中已有“體積流率”的定義,但在真空泵及有關(guān)術(shù)語中,又有“真空泵的抽氣速率(體積流率)”定義,雖然英譯名已為volume flow rate of a vacuum pump,但中文仍稱作抽氣速率(體積流率),這是不嚴(yán)肅的,而且在幾乎所有產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)中都仍采用抽氣速率,應(yīng)盡快改正為體積流率。

  體積流率的定義為:按規(guī)定條件工作時,從標(biāo)準(zhǔn)測試罩流過的氣體流量與在測試罩指定位置測得的平衡壓力之比。

  2.2、流量測量裝置

  在GB/T 19956.1-2005 的附錄A 中給出的滴管流量計中,滴管直徑(mm)為1.5、3、5、10、20、…….、200;而DIN 28427—1983 中規(guī)定:滴管內(nèi)徑不得小于12mm,為什么有這樣的規(guī)定?對此我們做了不同直徑滴管測量“體積流率”的對比,如表1 所示。

表1 不同直徑滴管“體積流率”測量對比

容積真空泵標(biāo)準(zhǔn)釋疑

  從對比數(shù)據(jù)中可以看出,滴管內(nèi)徑1.5mm 與5mm 相比較,二者所測得的體積流率偏差最大達(dá)16%以上。而5mm 滴管與15mm 滴管相比較,則偏差不大。因此1.5mm 和3mm 二種孔徑的滴管不應(yīng)再使用,5mm 孔徑的滴管雖然偏差較小,也不建議使用。小直徑滴管產(chǎn)生偏差的原因是流動阻力大,口徑越小、流速越大,流動阻力越大。

  當(dāng)年,我們?yōu)榱藬U(kuò)大滴管的量程,曾嘗試用汞取代變壓器油作滴管流量計的工作液,結(jié)果出現(xiàn)了更大的偏差。究其原因是汞的內(nèi)聚力太強(qiáng)了,它是一種在同種物質(zhì)內(nèi)部相鄰各部分之間的相互吸引力,是它在阻礙相鄰各部分之間的相對運(yùn)動,因此汞的流動阻力更大。

  由于滴管流量計在測量小流量方面存在一定的局限性,我們研發(fā)了一種新穎的真空滴管流量計,它既可在大氣壓狀態(tài)下使用,又可在真空狀態(tài)下使用,使它的量程向小流量方向拓展,因此可以完美解決上述問題,詳見參考文獻(xiàn)。JB/T 7675-2005“往復(fù)真空泵”中的流量測量裝置已太陳舊了,它不但需要一個體積龐大的儲氣罐,而且容積要求不小于氣缸理論抽氣容積的20 倍,也就是說,一臺600L/s 的往復(fù)泵在測量體積流率時需配備一個2m3 以上的儲氣罐。此外,還需要配備連接管道、調(diào)節(jié)閥和根據(jù)不同流量所選擇的噴嘴及配套的風(fēng)管,測量中還需根據(jù)不同流量調(diào)換噴嘴和風(fēng)管。

  我們認(rèn)為可以使用GB/T 13930-92“水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)氣量測定方法”中的計量噴嘴來進(jìn)行往復(fù)泵氣量的測量。在執(zhí)行GB/T13930-92 的過程中,我們發(fā)現(xiàn)由于“集束效應(yīng)”,從噴嘴中進(jìn)入的超音速氣流測試罩內(nèi)后壓力的均衡性和穩(wěn)定性較差,因此測試罩的長度L 與直徑D 之比應(yīng)大于5。由于“計量噴嘴”結(jié)構(gòu)簡單、測量方便、有較高的準(zhǔn)確度,在容積泵體積流率的測量中得到了廣泛的應(yīng)用。

  必須指出的是,計量噴嘴應(yīng)盡量避免壓力在3kPa 以下時使用,因為在低壓狀態(tài)下噴嘴的“集束效應(yīng)”更嚴(yán)重;同時低壓狀態(tài)下開啟的噴嘴孔徑都很小(1.5mm、2mm 等),“附面層”(流體動力學(xué))雖然很薄,但對小口徑的噴嘴而言,已有明顯的影響,而且這種影響很難消除。

  2.3、其它

  在JB/T6533 旋片真空泵和JB/T 1246 滑閥真空泵的技術(shù)要求中,規(guī)定“泵的幾何抽速應(yīng)為名義抽速的1~1.2 倍”,憶及當(dāng)時起草這一條文時,是考慮到當(dāng)時老產(chǎn)品多、規(guī)格不一,求大同、存小異,采取的臨時性規(guī)定,此后一直沿用至今。如今老產(chǎn)品都已經(jīng)淘汰,應(yīng)當(dāng)取消這一規(guī)定。實際上,國內(nèi)外所有容積泵的名義體積流率均為為幾何體積流率的圓整值,至于圓整值的偏差各有不同,真空技術(shù)網(wǎng)(http://bjjyhsfdc.com/)認(rèn)為不必、也不宜作具體規(guī)定。

3、水蒸氣容限tolerance of water vapour

  3.1、水蒸氣容限

  水蒸氣容限的定義有兩種表達(dá), 在DIN28426-1-1983 中是:標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件下,氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時,被抽氣體中水蒸氣的最高入口壓力。在ISO 21360-2-2012 中是:氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時不發(fā)生凝結(jié),被抽氣體中水蒸氣的最高入口壓力。我們認(rèn)為這兩種表達(dá)都不完整,脫離了“標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件”,測量就會產(chǎn)生很大的誤差,嚴(yán)重時將導(dǎo)致測量沒有結(jié)果;如沒有“泵內(nèi)不發(fā)生凝結(jié)”的規(guī)定,則脫離了“水蒸氣容限”的本意,測量中發(fā)生了水蒸氣的凝結(jié),測量結(jié)果就會產(chǎn)生更大的誤差,而且泵油中混雜了水將導(dǎo)致泵不能正常工作。此外,在水蒸氣容限的定義中不應(yīng)限制為氣鎮(zhèn)泵,因為采取其它措施,例如提高泵溫至100℃,就可以抽除水蒸氣而不會在泵內(nèi)產(chǎn)生凝結(jié)。我們認(rèn)為水蒸氣容限的定義應(yīng)為:標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件下(20℃,101325Pa),連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時泵內(nèi)不發(fā)生凝結(jié),所能抽除水蒸氣的最高入口壓力。

  3.2、水蒸氣容許抽除量water vapour tolerance pumping load

  與水蒸氣容限的定義一致,水蒸氣容許抽除量的定義為:標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件下,連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時泵內(nèi)不發(fā)生凝結(jié),單位時間內(nèi)能抽除的最大水蒸氣質(zhì)量流率。

  水蒸氣容許抽除量:

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  3.3、水蒸氣容限的測量

  水蒸氣容限如直接用水蒸氣來測量是非常復(fù)雜的,一是蒸氣發(fā)生器的問題,對大中型泵而言,蒸發(fā)面積要很大,加熱功率也要很大,才能充分滿足蒸氣量的需要;二是蒸發(fā)量(水蒸氣抽除量)只能從蒸發(fā)器的水位變化來計算,不易準(zhǔn)確測量;三是可能會在泵內(nèi)引起很難察覺而不為人們所注意的凝結(jié),從而影響水蒸氣抽除量和水蒸氣容限的測量。

  我們通過多次試驗證明,用水蒸氣直接測量會使測量過程異常困難,諸多因素都影響著測量的進(jìn)程,泵內(nèi)發(fā)生輕微的水蒸氣凝結(jié)又往往不易察覺,等到發(fā)現(xiàn)泵油(變色)中有水時,泵內(nèi)水蒸氣的凝結(jié)已經(jīng)很嚴(yán)重了,因此國際上現(xiàn)行的水蒸氣容限的測量(標(biāo)準(zhǔn))都用空氣來取代水蒸氣,再通過換算來修正。

  水蒸氣容限的測量按新制訂的GB/T ×××××—××××《真空技術(shù)容積真空泵水蒸氣容限的測量》進(jìn)行。水蒸氣容許抽除量一般不進(jìn)行測量,按公式(1)計算即可。

4、最低啟動溫度

  最低啟動溫度對油封真空泵最為重要,因為低溫下油的粘度直接影響到泵的啟動,DIN28426-1-1976 旋轉(zhuǎn)真空泵驗收規(guī)則第一部分:低真空和中真空范圍的滑閥真空泵和旋片真空泵,最早提出了“最低啟動溫度”的概念,并提出,如沒有其它規(guī)定,就把12℃作為泵的最低啟動溫度。ISO 21360-2-2012 也是如此規(guī)定。我國的幅員遼闊,南北溫差相當(dāng)大,即使在中東部地區(qū),也很難滿足這樣的環(huán)境條件,因此我國的滑閥真空泵和旋片真空泵標(biāo)準(zhǔn)都規(guī)定泵的工作環(huán)境溫度為5℃~40℃,也就是說把5℃作為泵的最低啟動溫度。事實上根據(jù)我們數(shù)十年的試驗數(shù)據(jù)看,無論是滑閥真空泵還是旋片真空泵都能在5℃下正常啟動。

  我們認(rèn)為,在最低啟動溫度這一項上,并非一定要遵循國際標(biāo)準(zhǔn),因為我們的標(biāo)準(zhǔn)超過了國際標(biāo)準(zhǔn),要求比它高,這是容許的。在這個問題上,世界各公司也并不統(tǒng)一,據(jù)查證:大阪真空機(jī)器制作所允許環(huán)境溫度為10℃~40℃。EDWARDS 公司nXDS 干式渦旋泵2013年樣本為10℃~40℃,GXS 工業(yè)干式泵2010 年樣本為5℃~40℃。LEYBOLD 公司2003 的樣本中,SV 和D 型為12℃~40℃和10℃~40℃。至于最低啟動溫度的定義,我們認(rèn)為可以這樣寫:泵至少停轉(zhuǎn)1 h 后,在入口為大氣壓的狀態(tài)下,泵能啟動的最低環(huán)境溫度。如沒有特殊要求,一般為了5℃。

  在進(jìn)行最低啟動溫度測量時,應(yīng)使泵處于最低啟動溫度下,泵運(yùn)轉(zhuǎn)10min 后,停止運(yùn)轉(zhuǎn)至少1h,然后在泵口敞開的情況下,檢測泵能否正常啟動。注意,試驗時所用的真空泵油的粘度必須與廠商規(guī)定的泵油粘度一致,真空技術(shù)網(wǎng)(http://bjjyhsfdc.com/)認(rèn)為試驗所用電機(jī)也必須與廠商規(guī)定的電機(jī)一致。

5、消耗功率

  現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)中消耗功率的定義是:在各種不同入口壓力下,用功率表測定泵的驅(qū)動電動機(jī)的輸入功率,然后乘以其不同負(fù)荷下的效率,即為泵的消耗功率。在測試程序中規(guī)定;待泵溫平衡后,開啟進(jìn)氣閥,使罩內(nèi)壓力由低至高,逐點穩(wěn)定,同時測取功率值。上述說明,現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)在測量過程中根本沒有考慮到壓力變化過程中泵溫的變化,實際上壓力的變化將直接導(dǎo)致壓縮功的變化,壓縮功的變化又將使泵溫發(fā)生變化。眾所周知,在油封真空泵的消耗功率中,包含了壓縮功和摩擦功,由于泵油的粘度隨溫度變化較大,因此克服油摩擦所需要的功率也隨泵溫變化。為此我們做了H-150 泵在最大功率時泵溫對消耗功率影響的試驗(室溫為32℃),測試數(shù)據(jù)如下:試驗表明,H-150 泵在最大功率時,泵溫穩(wěn)定需要1.5 h 以上,泵溫(上升)變化達(dá)27℃,功率變化達(dá)0.93kW,即下降了8.25%。這一點在ISO 21360-2-2012 中也沒有表達(dá)清楚,它只是說,在15min 內(nèi)測量3 次功率消耗,然后取平均值。DIN 28426 在最大驅(qū)動功率的術(shù)語中表示得非常清楚,最大驅(qū)動功率就是真空泵處于平衡溫度下,泵在最大負(fù)載下運(yùn)轉(zhuǎn)所需的消耗功率。

表2 H-150 泵最大功率時(3.3×104 Pa)的泵溫對功率的影響

容積真空泵標(biāo)準(zhǔn)釋疑

  我們認(rèn)為,消耗功率的測試應(yīng)在泵處于平衡溫度下進(jìn)行,也即在每個測試點都要保證泵處于平衡溫度下。因此消耗功率的測量方法應(yīng)為:“在各種不同的入口壓力下,泵溫穩(wěn)定后,用功率表測量泵的驅(qū)動電動機(jī)的輸入功率,然后乘以其不同負(fù)荷下的效率,即為泵的消耗功率”。功率表和電流互感器的準(zhǔn)確度應(yīng)按GB/T1032-2012 三相異步電動機(jī)試驗方法的規(guī)定,功率表的準(zhǔn)確度應(yīng)不低于0.5 級,互感器的準(zhǔn)確度應(yīng)不低于0.2 級。

6、能效比energy efficiency ratio(EER)

  容積真空泵中過去都考核比功率,沒有特出現(xiàn)代社會的能效概念,我們認(rèn)為可以仿照家電行業(yè),將之修改為考核能效比。容積真空泵的能效比(EER)可以定義為:額定工況和規(guī)定條件下,泵運(yùn)行時體積流率與有效消耗功率之比。它反映了單位消耗功率在泵運(yùn)行過程中轉(zhuǎn)換成的體積表2 H-150 泵最大功率時(3.3×104 Pa)的泵溫對功率的影響

  試驗表明,H-150 泵在最大功率時,泵溫穩(wěn)定需要1.5 h 以上,泵溫(上升)變化達(dá)27℃,功率變化達(dá)0.93kW,即下降了8.25%。這一點在ISO 21360-2-2012 中也沒有表達(dá)清楚,它只是說,在15min 內(nèi)測量3 次功率消耗,然后取平均值。DIN 28426 在最大驅(qū)動功率的術(shù)語中表示得非常清楚,最大驅(qū)動功率就是真空泵處于平衡溫度下,泵在最大負(fù)載下運(yùn)轉(zhuǎn)所需的消耗功率。

  我們認(rèn)為,消耗功率的測試應(yīng)在泵處于平衡溫度下進(jìn)行,也即在每個測試點都要保證泵處于平衡溫度下。因此消耗功率的測量方法應(yīng)為:“在各種不同的入口壓力下,泵溫穩(wěn)定后,用功率表測量泵的驅(qū)動電動機(jī)的輸入功率,然后乘以其不同負(fù)荷下的效率,即為泵的消耗功率”。功率表和電流互感器的準(zhǔn)確度應(yīng)按GB/T1032-2012 三相異步電動機(jī)試驗方法的規(guī)定,功率表的準(zhǔn)確度應(yīng)不低于0.5 級,互感器的準(zhǔn)確度應(yīng)不低于0.2 級。

7、能效比energy efficiency ratio(EER)

  容積真空泵中過去都考核比功率,沒有特出現(xiàn)代社會的能效概念,我們認(rèn)為可以仿照家電行業(yè),將之修改為考核能效比。容積真空泵的能效比(EER)可以定義為:額定工況和規(guī)定條件下,泵運(yùn)行時體積流率與有效消耗功率之比。它反映了單位消耗功率在泵運(yùn)行過程中轉(zhuǎn)換成的體積流率。至于怎樣來考核各種容積真空泵的能效比,則需根據(jù)各種泵的具體情況而定。滑閥泵、旋片泵和往復(fù)泵的能效比為最大消耗功率時的體積流率與最大消耗功率之比。濕式羅茨泵氣冷式羅茨泵水環(huán)泵的能效比曲線如圖1 所示,這些泵的能效比怎樣考核,還需進(jìn)一步研究和商榷。

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圖1 濕式羅茨泵、氣冷式羅茨泵和水環(huán)泵的能效比曲線

8、噪聲

  8.1、測量表面的選擇

  測量噪聲的聲功率首先要確定合適的測量表面,它主要由聲源的大小、形狀、安裝狀態(tài)和發(fā)聲特點等因素來選定。目前常用的測量表面有三種:球面、半球面和矩形平行六面體。我們真空行業(yè)執(zhí)行的“GB/T 21271-2007 真空技術(shù)真空泵噪聲測量”中采用的測量表面是矩形平行六面體,適用于形狀為矩形的泵。聲源(泵)位于一個反射面(地面)上,測量表面有五個。羅茨泵是一種特殊情況,它被機(jī)架支撐在離地面一定高度的空間,類似于懸掛在空中,近距離內(nèi)沒有反射面;它的形狀是矩形,又不能采用球形測量面,因此應(yīng)該采用一種特殊的測量表面—全矩形平行六面體測量表面。

  8.2、全矩形平行六面體測量表面

  這是一種創(chuàng)新,國際標(biāo)準(zhǔn)和國外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)中都沒有采用過,在它們規(guī)定的三種設(shè)置狀態(tài)中:聲源位于地面上時,測量表面有五個;聲源緊靠二個反射面時,實際上的測量表面只有四個;聲源緊靠三個反射面時,實際上的測量表面僅只有三個。它們的基準(zhǔn)體定義為:恰好包絡(luò)聲源且終止于反射平面的最小矩形平行六面體假想表面。由于羅茨泵被支撐在離地面一定高度的空間,近距離內(nèi)沒有反射面,因此它的矩形平行六面體的六個面全部是測量表面,為與前面所述的矩形平行六面體有所區(qū)別,我們稱之為“全矩形平行六面體測量表面”。它的基準(zhǔn)體定義與矩形平行六面體的定義不一樣,應(yīng)為:恰好包絡(luò)聲源的最小矩形平行六面體假想表面。

  8.3、圓柱體測量表面

  ISO 3744-2010 中增設(shè)了圓柱體(cylindrical)測量表面,但從附錄D 的圖D.1 中可以看出,它的基準(zhǔn)體仍為矩形平行六面體,我們認(rèn)為根據(jù)真空泵的實際情況,應(yīng)將基準(zhǔn)體修改為圓柱體,因此我們應(yīng)在相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)中增設(shè)圓柱體測量表面,圓柱體測量表面適用于立式分子泵和渦旋泵等。

9、結(jié)束語

  本文提出的新概念、新定義、新方法和一些不同的觀點、看法,雖然是經(jīng)我們多年研究和實踐的積累和成果,但一定還存在一些不足和需要商榷的地方,望請有意者不惜指正。