氣體捕集式真空泵的幾種類型

2020-05-03 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

　　氣體捕集式真空泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵，可分以下幾種型式。

1、吸附泵

　　它是依靠具有大表面積的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。例如分子篩吸附泵。

2、吸氣劑泵

　　它是一種利用吸氣劑以化學方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。例如鈦升華泵和鋯鋁吸氣泵屬于這種類型。

3、吸氣劑離子泵

　　它是使被電離的氣體通過電場或電磁場的作用吸附在吸氣材料的表面上，以達到抽氣目的的。它有如下兩種型式。

　　(1)蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。例如軌旋式離子泵(或稱彈道式鈦泵)。

　　(2)濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺散出來的吸氣材料上以實現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。

4、低溫泵

　　它是利用低溫表面捕集氣體的真空泵。