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低溫泵

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推薦集成電路制造中低溫泵的應用及產品發展現狀

本文介紹了國內集成電路制造中進口低溫泵產品的技術發展現狀，并對比了不同產品的技術特點。闡述了國產低溫泵進軍集成電路制造業的歷程與現狀。

EAST裝置的內置式低溫冷凝泵系統

介紹了內置式低溫泵系統的基本設計、制造和性能測試
低溫泵抽氣性能測試平臺的抽速測量不確定度研究

介紹了低溫泵抽氣性能測試平臺的組成和抽速測量的基本原理,分析了壓力和充氣量的不確定度分量來源
G-M低溫泵系統的故障診斷與分析

低溫泵系統的故障主要有: 壓縮機故障、低溫泵故障和再生故障。壓縮機故障又分為潤滑油泄漏、氦氣泄漏、不能啟動和噪音。低溫泵故障又分為低溫泵不能冷卻、低溫泵噪音。
制冷機冷卻型超導磁體杜瓦的研制

介紹了帶制冷機冷卻的超導磁體系統杜瓦的設計、制作及實驗結果分析。
G-M制冷機冷卻的超導磁體研制及性能試驗

針對超導磁體液氦易揮發、需要不斷補充的問題,為研制的超導磁體加裝了G-M制冷機.
冷凝泵的內部構造、工作原理及其維護保養

分析了冷凝泵的內部構造、工作原理, 詳細敘述了工作時的相位關系。
中性束系統大抽速低溫泵的參數和計算

對中性束的主要氣源進行了說明，低溫泵的抽速，熱負荷以及極限壓力進行了初步的計算。
中性束系統大抽速低溫泵的基本結構

中性束系統大抽速低溫泵的主體基本結構，即：以頂部主法蘭為固定支撐，4.5K雙面活性炭涂層的低溫冷面結合77K的經黑化處理過的V字型折流板為主體部件的液氦和液氮雙回路系統。
中性束系統大抽速低溫泵的工作原理

闡述了用于中性束束線的大抽速低溫泵的工作原理。
液氮溫度下JX-6型椰殼炭的性能測試

本文選取JX-6型椰殼活性炭，用全自動比表面積及孔徑分析儀在液氮溫度下對其性能進行了測試，并對實驗數據進行了分析。
幾種組合吸附劑的吸氫等溫線的測定及分析

測定了幾種組合吸附劑在低壓室溫下的吸氫等溫線,該組合吸附劑是由5A分子篩和含有不同比例PdO和Ag2O的吸氣劑組成的。本文對這些吸氫等溫線進行了分析,擬合出在一定范圍內適用的吸氫等溫方程式。
用制冷機低溫泵獲得清潔無油高真空

制冷機低溫泵以其抽速大和無污染的特點，在各行各業得到了廣泛的應用。文章介紹了制冷機低溫泵的工作原理、結構和特點，著重介紹了自主設計生產的制冷機低溫泵在國內最大的空間環境模擬設備中調試和測量的情況，為獲
大型氦制冷低溫真空系統的其它一些參數設計

介紹了我國某大型空間環境試驗設備中的大型氦制冷低溫真空系統的設計研究工作, 對設計研究中的一些技術問題進行了研究探討。
氦制冷低溫真空系統的抽速和熱負荷的最佳化設計

影響大型氦制冷低溫真空系統抽速和熱負荷的主要結構參數相互制約, 需要通過蒙特卡洛方法進行最佳化設計。
大型氦制冷低溫真空系統主要結構設計

大型氦制冷低溫真空系統的主要技術性能基本上可以由系統抽速、系統降溫時間和抽氣面積三項指標來表達。氦制冷系統的制冷功率對大型氦制冷低溫真空系統的主要技術性能的影響也是很大的。
冷凝泵的常規維護保養

冷凝泵的常規維護保養知識
冷凝泵的基本原理與制冷過程

G-M循環冷凍機的降溫過程是吸收外部熱量下降自身溫度的過程,從能量守恒的角度來分析,正好與活塞對外做的功相等。這就是制冷的基本原理。
冷凝泵的內部構造特點

冷凝泵的內部件主要包括導流板、輻射罩、冷板、溫度計、一級冷頭、二級冷頭、冷凍機、活塞連桿、蓄冷器等等。
低溫泵再生起始和結束的判斷方法

討論了再生過程中再生起點和再生終點的判斷方法以及低溫泵冷頭溫度的測量方法。
制冷機低溫泵的常見再生方式

低溫泵捕集的氣體可以以固態、氣態或液態方式除去, 由于以固態方式除去冷凝物存在很多技術難題,根據加熱方式的不同, 再生方式一般分為:自然加熱再生、氣體沖洗再生、電加熱再生三類。