干泵及其在大半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司

張振厚

　　摘要：大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為我國(guó)鼓勵(lì)、支持發(fā)展的新興產(chǎn)業(yè)近幾年得到了快速發(fā)展。

　　本文介紹了國(guó)內(nèi)外干泵產(chǎn)業(yè)的發(fā)展及其主要生產(chǎn)廠家、干泵的發(fā)展趨勢(shì)。從大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)概念入手，通過(guò)對(duì)大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)以及真空應(yīng)用設(shè)備的需求分析，介紹了干泵在大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用，并對(duì)干泵的技術(shù)發(fā)展提出了個(gè)人建議。

　　目前干泵基本上還需要使用知名的進(jìn)口品牌，否則會(huì)惹麻煩的!一般都用 ebara 或 edward 吧

　　我們真心希望能夠大量使用國(guó)貨，但半導(dǎo)體及相關(guān)制造業(yè)對(duì)保證設(shè)備運(yùn)行的可靠性方面要求極高。所用過(guò)的機(jī)械泵，從噪聲方面說(shuō)，萊寶的泵使用10年后噪聲依然如新泵。而國(guó)產(chǎn)的泵即使是新的，噪聲就較高(我曾經(jīng)用過(guò)一家國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的干泵，那噪聲和裝甲車差不多)。據(jù)說(shuō)主要的原因是他們校正轉(zhuǎn)軸的要求特別高。國(guó)產(chǎn)的泵另一個(gè)特點(diǎn)是：一經(jīng)鑒定成型后，較少再投入進(jìn)行設(shè)備的優(yōu)化和改進(jìn)性能。一個(gè)新產(chǎn)品出來(lái)總有這樣那樣的缺點(diǎn)，這點(diǎn)上大家都可以理解，但不能理解的是為什么沒(méi)有再改進(jìn)再優(yōu)化的過(guò)程了。一點(diǎn)淺見(jiàn)：主要是人們不怎么相信國(guó)產(chǎn)設(shè)備的可靠性。