在高功率激光器系統中，使用空間濾波器是抑制光束高頻成分的非線性增長、改善光束傳輸質量的有效措施之一。激光束在到達濾波器小孔位置時會發生空氣擊穿，因此管道內必須達到一定的高真空，通過對選用的分子泵機組內部控制電路的研究分析，設計了一套控制方案，很好地滿足了空間濾波器特定的使用要求。

　　空間濾波器由一對共焦正透鏡和共焦的濾波小孔組成，基本結構見(圖1)，清潔空氣的擊穿閾值為107w/cm²，當激光的功率密度超過109w/cm²時，需要抽高真空至1×10^-3Pa，在不進行全系統烘烤的情況下，分子泵組全速運轉一段時間后系統真空度可達10^-5Pa，過高的真空度會加速管道內部電纜、潤滑脂的蒸發，進而影響光學元件表面的潔凈度，因此，真空技術網(http://bjjyhsfdc.com/)認為我們需要研制相應的控制系統，將真空度控制在一定范圍內，既要保證激光器系統的正常運行，又能減小內部各類材料的蒸發量。

圖1 空間濾波器示意圖

　　2、方案設計

　　為了實現高真空度的可控，最簡單的辦法就是降低高真空泵對真空腔體的抽速，可以采用以下兩種方案：

　　(1)在泵體與管道間增加一臺開啟量可控閥門，通過控制閥門開啟的大小來控制系統抽速；

　　(2)不增加其他設備，僅調節分子泵的轉速來控制系統抽速。比較后我們選用了第二種方案，由于真空計和分子泵控制器均自帶RS485通訊端口，利用真空計監測管道內真空度，由工控機實時讀取真空值，當讀數超過設定值時，工控機控制分子泵控制器調節轉速，由此形成閉環控制系統，見(圖2)。

圖2 控制設計

　　3、控制流程設計

　　(圖3)首先需要為控制系統設定3個參數：穩定運行所需的真空值、每次條件判斷后調整的轉速值和延遲時間，需要注意的是，由于分子泵達到10^-3Pa后真空值下降非常緩慢，對泵體調速后觀察到真空值變化也需要一定時間，所以t的設定需要經過多次測試才能滿足使用要求，減小真空值的波動。

圖3 流程設計

　　4、實驗

　　TV551系列分子泵最小的可調轉速為1000rpm，為了保證控制精度，我們就取其最小值，空間濾波器日常運行所需真空值設定為2×10^-3Pa，每次設定t值后觀察24小時內真空值的變化量，結果顯示，當延時設定在15min時，系統真空值變化量最小(表1)。

表1

　　5、結語

　　通過對分子泵機組控制系統的設計，并經過測試不斷改進參數值，我們成功實現了對空間濾波器內部真空值的穩定控制，誤差波動范圍在±10%以內，滿足了整個裝置正常運行的要求。