擴散泵油的返油過程示意圖

2019-10-05 鬼馬 真空技術網整理

　　擴散泵的油蒸汽并不完全是放射性地沿泵腔向下運動，由于隨機的散射或帶方向性的放射，從噴嘴噴出的蒸汽有部分分子也向真空泵泵口方向移動，這樣就形成了返流;返流是擴散泵系統的主要污染!

擴散泵油的返油過程示意圖

　　因此，為了減少返流，在噴嘴和被抽系統之間通常加上合適的捕集裝置;例如：加上水冷的捕集器，可以使返流降低50%，而同時泵的抽速也只是降低10%左右,不幸的是，捕集返流的效率越高，對泵抽速的影響就會越大;例如：一個用水或液氮冷卻的幾乎可以完全捕集返流的裝置，可能會使抽速降低30% !