磁懸浮轉子真空計的特點

2016-03-09 真空技術網 真空技術網整理

  1、磁懸浮轉子真空計與壓縮式真空計同屬于標準真空計,但其量程較寬(10-1~10-5 Pa)。用它做互校傳遞標準計,累積誤差小、可靠性和重復性好。

  2、磁懸浮轉子真空計是無源器件,其規管內部沒有高速電子和離子,沒有熱絲,不存在熱及輻射效應。

  3、轉子規管體積小,吸氣和放氣現象完全可以忽略,不會影響被測空間的氣體成分和壓力,特別適用于不允許規管與氣相彼此作用的場合。

  4、磁懸浮轉子真空計每測量一個點必須間隔半分鐘,所以只能用于壓力變化緩慢的真空室或密閉空間。

  5、測量精度主要取決于轉速ω的測量精度和溫度T的恒定,因此測量時務必維持T恒定和采用較高精度的測速技術及儀表。