陶瓷表面金屬化殘余氣體分析

2013-03-21 王輝 東南大學電子科學與工程學院顯示中心

陶瓷表面金屬化殘余氣體分析

王輝，肖梅，張曉兵

(東南大學電子科學與工程學院顯示中心 南京 210096)

　　摘要：在真空系統(tǒng)中，殘余氣體是影響真空工藝性能及真空器件壽命的重要因素。陶瓷是一種疏松的原材料，在加工陶瓷材料的過程中，容易吸附各種各樣的雜質(zhì)。

　　實驗采用的兩種金屬化陶瓷樣品，基底均為素燒氧化鋁陶瓷，一是先進行過高溫金屬化鍍銀后電鍍金樣品，二是化學鍍Ni的樣品。使用四極質(zhì)譜計對加熱前后的樣品進行測試,分析放氣特性。