質(zhì)譜測量
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ESI離子阱質(zhì)譜儀實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析
自主研發(fā)質(zhì)譜儀并能夠?qū)⑵洚a(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)是一項(xiàng)十分有意義的工作。質(zhì)譜儀的工作原理決定了其核心部件需要在真空下工作,因此質(zhì)譜儀的真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)是質(zhì)譜儀研發(fā)工作的基礎(chǔ)。本文針對ESI 離子阱質(zhì)譜儀科研樣機(jī)進(jìn)行真空系統(tǒng)
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ESI離子阱質(zhì)譜儀的三級梯度真空系統(tǒng)參數(shù)計(jì)算設(shè)計(jì)
通過對ESI離子阱質(zhì)譜儀的三級梯度真空系統(tǒng)流導(dǎo)的計(jì)算,最終確定了真空分隔部件的最終尺寸。
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ESI離子阱質(zhì)譜儀概述及真空系統(tǒng)關(guān)鍵部件設(shè)計(jì)及安裝
ESI離子阱質(zhì)譜儀適合于分析極性化合物、易熱分解和高分子量化合物等物質(zhì)。ESI 的離子化源是一種外部電離源,它的真空腔體采用三級梯度真空設(shè)計(jì)。
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分壓力測量的歷史發(fā)展歷程
一般情況下,提供真空系統(tǒng)的全壓力信息可能就足夠了,但如果要了解真空系統(tǒng)中發(fā)生的現(xiàn)象的詳盡信息,就必須借助分壓力質(zhì)譜計(jì)才能完成。
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四極質(zhì)譜計(jì)在高壓力下的測量實(shí)驗(yàn)設(shè)備與實(shí)驗(yàn)結(jié)果
通過實(shí)驗(yàn)和實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析,四極質(zhì)譜計(jì)靈敏度在高壓力下偏離線性的主要原因除了離子與氣體分子和離子碰撞導(dǎo)致離子損失外,離子間電荷的作用力使離子發(fā)生散射也是一個重要的原因。
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四極質(zhì)譜計(jì)在高、低壓力下靈敏度的關(guān)系研究
通過對四極質(zhì)譜計(jì)的靈敏度進(jìn)行研究,通過理論分析得出了高壓力下靈敏度與低壓力下靈敏度的關(guān)系,從而達(dá)到用四極質(zhì)譜計(jì)在高壓力下準(zhǔn)確測量分壓力的目的。
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四極質(zhì)譜計(jì)檢漏原理及方法與過程
利用四極質(zhì)譜計(jì)進(jìn)行檢漏,主要是對示漏氣體的分壓力進(jìn)行測量,由此知道漏孔位置及漏率大小。一般的步驟是先定性后定位,如果需要定量,還需要接入校準(zhǔn)系統(tǒng)。
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質(zhì)譜計(jì)的殘余氣體分析檢漏和示漏氣體動態(tài)檢漏
敘述了利用四極質(zhì)譜計(jì)的殘余氣體分析檢漏和示漏氣體動態(tài)檢漏方法之間的差別。同時給出了漏孔漏率的計(jì)算方法。
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四極質(zhì)譜計(jì)的真空檢漏方法和過程
四極質(zhì)譜計(jì)對真空系統(tǒng)內(nèi)主要?dú)堄鄽怏w進(jìn)行譜峰掃描即可判斷系統(tǒng)有無漏孔。與檢漏儀檢漏相比, 沒有“分流”作用, 具有較高的靈敏度, 更適用于極高真空系統(tǒng)的檢漏。
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四極質(zhì)譜計(jì)用于檢漏的工作原理
四極質(zhì)譜計(jì)比普通檢漏儀有更高的靈敏度、更大的分辨本領(lǐng), 而且具有體積小、重量輕、價格便宜等諸多優(yōu)點(diǎn), 將在真空檢漏領(lǐng)域發(fā)揮更大的作用。
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小孔流導(dǎo)法質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置
小孔流導(dǎo)法質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置需要知道小孔的流導(dǎo)和測量流量,因此對結(jié)構(gòu)和操作要求都較高。
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壓力衰減法質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置
壓力衰減法質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置不需要知道氣體流量, 校準(zhǔn)裝置只需要一個參考標(biāo)準(zhǔn)規(guī),如電容規(guī)或磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī),具體裝置如正文描述。
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直接比對法質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置
直接比對法質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)方法是一種較好的校準(zhǔn)方法,包括被校質(zhì)譜計(jì)和參考標(biāo)準(zhǔn)規(guī), 參考標(biāo)準(zhǔn)規(guī)推薦采用磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)(SRG) 和電離規(guī)( IG)。
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分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置與校準(zhǔn)前檢查
校準(zhǔn)分壓力質(zhì)譜計(jì)采用直接比對法、壓力衰減法、小孔流導(dǎo)法、原位置校準(zhǔn)法。前三種校準(zhǔn)方法可以設(shè)計(jì)相應(yīng)的校準(zhǔn)裝置來完成。第四種方法要求校準(zhǔn)時的抽速與使用時的抽速相同。
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殘余氣體分析儀的遠(yuǎn)距離控制
本文介紹了MKS公司和INFICON公司的殘余氣體分析儀(RGA)的RS-232通訊電纜(與PC通訊)的接口引腳、功能以及從多芯簡化為三芯的可行性。從而可以利用一對通用的RS-232/RS-485/422通訊轉(zhuǎn)換模塊將RGA的RS-232通訊轉(zhuǎn)換為R
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四極質(zhì)譜計(jì)檢漏圖譜分析與優(yōu)點(diǎn)
四極質(zhì)譜計(jì)做為一種非常有用的殘余氣體分析工具,通過氣體含量的變化反映在質(zhì)譜圖上,具有較高的靈敏度, 更適用于極高真空系統(tǒng)的檢漏,可以測量示漏氣體在真空容器內(nèi)的分壓力。
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用四極質(zhì)譜計(jì)進(jìn)行真空檢漏的原理和方法
介紹了使用四極質(zhì)譜計(jì)進(jìn)行真空檢漏的原理和方法, 分別對超高和極高真空系統(tǒng)做了檢漏實(shí)驗(yàn)研究,并取到了滿意的結(jié)果。四極質(zhì)譜計(jì)檢漏有檢漏儀檢漏無法比擬的優(yōu)點(diǎn), 適合在真空工程中推廣應(yīng)用。
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QMS200四極質(zhì)譜計(jì)在大功率速調(diào)管上的殘氣分析
四極質(zhì)譜儀應(yīng)用在大功率速調(diào)管上,記錄了真空系統(tǒng)中殘余氣體的譜圖。及在不同條件下殘余氣體的譜圖變化特點(diǎn)。對速調(diào)管高功率輸出時變化的殘余氣體譜圖進(jìn)行了初步分析。
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四極質(zhì)譜計(jì)的原理及其計(jì)量特性研究
四極質(zhì)譜計(jì)是一種分壓力測量儀器,可廣泛應(yīng)用于殘余氣體分析和真空流量的測量,其計(jì)量特性需要深入研究。用N2、Ar、He3種氣體作為實(shí)驗(yàn)氣體,對4臺應(yīng)用范圍較廣、具有一定代表性的商用四極質(zhì)譜計(jì)的線性、長期穩(wěn)定性、短
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