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往復式真空泵工作原理圖
往復式真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復直線運動的活塞，活塞的驅動是用曲柄連桿機構來完成的。往復式真空泵的主要缺點是結構復雜，體積較大，運轉時振動較
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旋片式真空泵工作原理演示圖
旋片泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成，旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空
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低溫泵的抽氣原理與分類與結構
利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣體分子發生吸附而達到抽氣作用的泵叫低溫吸附泵。根據所用吸附劑不同，又可分為三種類型： 非金屬吸附劑泵、金屬吸附劑泵
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濺射離子泵的結構及其抽氣機理
濺射離子泵又稱潘寧泵，它是靠潘寧放電維持抽氣的一種無油清潔超高真空泵。是目前抽惰性氣體較好的真空獲得設備。濺射離子泵主要由陽極、陰極、磁場和電源四大部
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