鈦升華泵的主要幾種結構
2020-05-06 真空技術網(wǎng) 真空技術網(wǎng)整理
鈦升華泵可有三種類型，一種是單體泵，用法蘭與被抽容器聯(lián)接;另一種是升華器放入被抽容器中，被抽容器壁即為吸氣面;第三種是與其它泵組合，作成組合泵。無論哪種類型，都必須有吸氣面、升華器和控制器三部分。吸氣面主要是泵體或各種殼體，控制器屬于電控，升華器的種類較多，這里介紹幾種升華器的結構。
一、對升華器的要求
能提供所需要的鈦升華率;鈦升華率易于調(diào)節(jié)，可連續(xù)或間斷地供應吸氣劑;鈦升華器本身出氣少或易于去氣;要有足夠的工作壽命，即要有足夠的儲鈦量。
二、電阻加熱式升華器
直接通電加熱鈦絲。常用兩種結構。
1、纏繞鈦絲式升華器：將鈦絲直接纏繞在鎢桿或鉭桿上，鎢桿或鉭桿通電加熱到足夠高的溫度，鈦就不斷升華出來。
2、鈦鉬絲式升華器：這種升華器是將鈦(85%)與鉬(15%)冶煉成合金或?qū)⑩佒苯渝冊阢f桿上，然后將鈦鉬絲直接通電加熱，使鈦不斷升華。
三、熱傳導加熱式
它是由導熱性能良好的氧化鈹陶瓷為芯，內(nèi)串以錸鎢絲制成的加熱器。陶瓷芯上先繞一層鉬箔，防止鈦與氧化鈹直接接觸起反應，避免鈦的加劇消耗。鈦帶纏繞在鉬箔上，它們之間用氧化鉿-甘油漿涂敷。
四、輻射加熱式升華器
這種升華器從結構上將加熱源和升華源分成兩部分。利用放在鈦球內(nèi)的螺旋鎢絲，由電阻加熱作熱源，利用輻射加熱鈦球，使鈦不斷地升華。
