羅茨真空泵是一種應用極為廣泛的無油真空抽氣設備。全羅茨真空泵可以組成大型無油真空抽氣系統，滿足近年來各行業對無油真空抽氣系統越來越大的需要，但在應用過程中存在噪聲高、配套功率大，尤其是被抽介質產生氮氧化物、結焦物等場合時容易發生卡死等缺陷。根據羅茨真空泵的特性，對全部由羅茨真空泵組成的抽氣系統的組成及性能作一介紹，運用現代設計技術和控制技術，分析了產生這些缺陷的原因，采取了相應的改進措施。對抽氣系統如何實行智能化控制做了敘述。

引言

　　羅茨真空泵(以下簡稱為羅茨泵)及其組成的機組具有轉速高、體積小、可在需要干式的環境運行，組成較大抽氣速率的泵組合機組等優點外，組成抽氣系統的氣冷羅茨泵還可以在配帶合適的電機及熱交換器后可在任意的壓力下起動，任意壓差下運行，因此在負載較大，抽氣時間要求短；粗真空至高真空均需要大抽速的多種場合如航空航天、電力、鋼鐵處理、醫藥化工等廣泛地得到了應用，但組成全羅茨泵機組的巨大配套功率、巨大的噪聲等問題又使許多用戶望而生畏。因此真空技術網(http://bjjyhsfdc.com/)認為節能降耗、改善工作環境業已成為生產企業降低生產成本、提高產品質量、爭取廣大用戶的重要手段。本文將根據羅茨泵的特性，介紹多種羅茨泵的組合的性能，就如何更加合理地把大型全羅茨泵抽氣系統應用于各行各業作一介紹，提出了應用中的一些關鍵技術問題及其解決方法，促進應用行業的清潔生產，對抽氣系統如何實行智能化控制做了敘述。

1、羅茨泵工作原理特性

　　組成無油真空抽氣系統的羅茨泵，主要可分為前級需要真空泵串聯使用的ZJ 型或ZJP 型普通羅茨泵和可以直排大氣(或耐高壓差)的ZJQ 型氣冷式羅茨泵兩大類。

1.1、ZJ 或ZJP 型普通羅茨泵

　　普通羅茨泵已發展很長時間，是一種旋轉式容積真空泵，其工作原理和羅茨鼓風機相似，利用兩個8 字形轉子由傳動比為1 的一對齒輪帶動，在泵殼中作彼此反向的同步旋轉運動，轉子間、轉子與泵體間存在間隙、彼此無接觸，如圖1 所示。具體可以參考文章：羅茨真空泵的結構與工作原理。

圖1　羅茨泵工作原理

1.2、ZJQ 型氣冷羅茨泵

　　國內上世紀90 年代開始發展起來的ZJQ 型氣冷羅茨泵，到現在技術和運行已日臻完善，具有配帶合適的電機及熱交換器后可在任意的壓力下起動，任意壓差下運行的優點。其工作原理如圖2 所示。

圖2　氣冷羅茨泵工作原理

　　該系列泵可以單獨使用，也可以與其他泵組成機組使用，可達到各種極限壓力并在各個入口壓力下安全長期工作。

1.3、全羅茨泵抽氣系統

　　各行各業的發展，對真空抽氣系統的抽氣速率的要求越來越大，而且又要真空系統實現無油的真空抽氣狀態，如此大的抽氣速率只有進行多臺真空泵的組合才能得以實現。市場上現有的干式真空泵如螺桿真空泵、爪式真空泵等的抽速特性和結構機理的限制，滿足不了很多場合的應用環境，用氣冷羅茨泵作為前級泵后，可實現羅茨真空抽氣系統的全無油條件，滿足多種場合的應用要求，組成抽氣系統的真空泵全部由羅茨泵組成的系統如圖3 所示。

圖3 　全羅茨泵組成的真空系統

　　根據工作壓力和抽氣速率等不同的需求工況，可以采用一級、二級、三級、四級、五級甚至六級的全羅茨泵組合，也可以根據工況要求決定溢流閥I、溢流閥II、和溢流閥III 的取舍及其羅茨泵II 是采用氣冷羅茨泵還是普通羅茨泵，目前國內最大的單套全部由羅茨泵組成的抽氣系統的最大抽氣速率可以達到40000L/s。

1.4、全羅茨泵組合抽氣系統的性能

　　圖4 是六級全羅茨泵組合機組及其作其前級的五級、四級、三級、二級、一級羅茨泵或機組的抽氣速率—入口壓力曲線，主泵為ZJ40000 羅茨泵。此曲線還可以按不同的應用工況進行調整，使之獲得耗能低、效率高的全羅茨泵組合抽氣系統。表一是一級至六級全羅茨泵機組能達到的極限壓力和建議的最低工作安全壓力。

圖4　羅茨泵機組的抽氣速率—入口壓力曲線