磁力傳動式真空動密封的分類及選擇
磁力傳動真空動密封連接裝置可按圖6 所示的不同方法進行分類。
選擇磁力傳動真空動密封裝置時，主要應(yīng)從真空設(shè)備要求傳遞運動的方式、真空容器內(nèi)壓強的高低以及容器內(nèi)從事真空工藝的具體要求等方面加以考慮。如傳遞旋轉(zhuǎn)運動，壓強高于10-5 Pa，磁力驅(qū)動介質(zhì)為氣體時，可選用圖7 所示的同軸圓筒形磁力傳動真空動密封裝置，其內(nèi)磁轉(zhuǎn)子可采用永磁體進行工作。如果條件不變，被抽容器內(nèi)壓強低于10-5 Pa 處于超高真空狀態(tài)時，則應(yīng)將圖7 中的內(nèi)磁轉(zhuǎn)子上的永磁體用軟磁材料來取代，以避免超高真空下燒烤時溫度過高引起內(nèi)磁轉(zhuǎn)子上永磁體退磁而影響磁力驅(qū)動密封裝置的性能。
圖6 磁力傳動真空動密封連接的分類
1.外磁轉(zhuǎn)子； 2.隔離密封套； 3.內(nèi)磁轉(zhuǎn)子； 4.滾動軸承
圖7 同軸圓筒形磁力傳動真空動密封裝置示意
若采用同軸式圓筒形密封隔離套在結(jié)構(gòu)上有困難時，也可采用如圖8 所示的平盤式磁力傳動真空動密封裝置。如果需要選用直線式或復(fù)合運動式的密封結(jié)構(gòu)時，可以結(jié)合上述各種類型的特點和實際應(yīng)用的需求選用如圖9 所示的組合式(具有復(fù)合運動的)磁力傳動真空動密封裝置。
1.滾動軸承； 2.內(nèi)磁轉(zhuǎn)子； 3.隔離密封板； 4.外磁轉(zhuǎn)子
圖8 平盤式磁力傳動真空動密封裝置結(jié)構(gòu)示意
1.軸承導(dǎo)軌架； 2.筒狀隔離密封套；3. 外滾動軸承；4. 外磁轉(zhuǎn)子；5.內(nèi)磁轉(zhuǎn)子； 6.轉(zhuǎn)軸；7.法蘭；8.樣品托
圖9 組合式磁力傳動真空動密封裝置結(jié)構(gòu)示意圖
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