薄膜計(jì)可分為絕對(duì)式和差壓式。把0帕定作零點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)稱為絕對(duì)式,把任意壓力值定作零點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)稱作差壓式。它的優(yōu)點(diǎn)主要是性能穩(wěn)定,精確度高,靈敏度與氣體種類無關(guān);結(jié)構(gòu)牢固、抗振動(dòng)、壽命長;并可測蒸氣和腐蝕性氣體的壓力。缺點(diǎn)主要是預(yù)熱時(shí)間很長,可能會(huì)影響工作。

校準(zhǔn)電容薄膜計(jì)時(shí),應(yīng)注意以下五點(diǎn):

(1)傳感器調(diào)零時(shí),首先應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)將控制線路的零點(diǎn)和滿度調(diào)好,將溫度補(bǔ)償器調(diào)到所需要的位置上,測量中不可隨意變動(dòng)。

(2)傳感器調(diào)零應(yīng)在其預(yù)熱4小時(shí)后進(jìn)行,必要時(shí)可(10～24)小時(shí)的恒溫加熱,才能使電容規(guī)達(dá)到最佳零點(diǎn),也才能測得更精確。

(3)傳感器調(diào)零的位置,應(yīng)比校準(zhǔn)范圍下限低2～3個(gè)量級(jí)。如量程是1000Torr,則校準(zhǔn)范圍是133. 3Pa～133300Pa。零點(diǎn)在真空系統(tǒng)抽到1. 3Pa 或0.13Pa位置左右時(shí)才能調(diào)節(jié),其余量程以此類推。

(4)調(diào)零以后,校準(zhǔn)過程中環(huán)境溫度不能有驟然變化的現(xiàn)象發(fā)生。

(5)在校準(zhǔn)過程中,避免傳感器過大的振動(dòng)。