對(duì)大多數(shù)真空系統(tǒng)來說，真空閥門應(yīng)具有以下廣泛性的性能。

1， 防銹性

    在與真空環(huán)境接觸的材料一定要具有良好的防銹性能。因此廣泛采用鋁合金，銅合金和不銹鋼來制造真空隔離部件。

2， 工作壓力范圍在0～2.5×105Pa

    相對(duì)較寬的壓力范圍，會(huì)使產(chǎn)品的使用面更廣泛，而且閥板的密封最好是雙向的，至少閥板在反頂大氣壓時(shí)也可密封。

3， 低漏率

    在高真空領(lǐng)域內(nèi)漏率應(yīng)<10-7Pa·l·s-1,較低的漏率有利于提高系統(tǒng)的效率，對(duì)降低生產(chǎn)成本非常有效。

4， 起動(dòng)時(shí)，震動(dòng)低，對(duì)系統(tǒng)沖擊小。

5， 結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕

6， 明顯的閥位指示

7， 可選配加裝閥門啟閉信號(hào)控制器，便于編程自動(dòng)化控制。

8， 高流導(dǎo)

9， 采用波紋管作為位移的動(dòng)密封

    無動(dòng)態(tài)漏氣，無油脂污染，可靠性高，相對(duì)橡膠密封，可靠性更高并可以避免產(chǎn)生顆粒污染。

10，真空部分盡量避免采用真空脂。

11，盡量減少真空部件內(nèi)的無用空間，以保證真空獲得的時(shí)間更少。

12，盡可能的減少功耗